Центрифуга для нанесения покрытий spinNXG - P1

Системы нанесения покрытий методом центрифугирования серии spinNXG

  • Нанесение тонких пленок на стекле, металле, полупроводниках и других твердых материалах
  • Скорость вращения 100 – 10000 об/мин
  • Ускорение 40 - 5000 об/мин/сек
  • Камера 8'' - 10'' (в зависимости от модели)
  • Вакуумный держатель подложек
  • Возможность продувки рабочей камеры инертным газом
  • Опции управления с ПК, обогрев, УФ осушители

Производитель APEX

Описание
Характеристики
Материалы
Основные параметры
  • Скорость вращения
    100 – 10000 об/мин.
  • Ускорение
    40 - 5000 об/мин/сек
  • Точность поддержания скорости < ±1% от максимального значения
  • Камера 8'' - 10''
    (в зависимости от модели)
  • Тефлоновое покрытие камеры
  • Вакуумный держатель подложек
  • Возможность продувки рабочей камеры инертным газом
  • Опции управления с ПК, обогрев, УФ осушители

Особенности

  • Изучение исходного и нанесенного материалов.
  • Нанесение тонких пленок на стекле, металле, полупроводниках и других твердых материалах (Анализ тонкой пленки оксида кобальта Co3O4, полученной методом центрифугирования).
  • Нанесение тонких органических и магнитных пленок, а так же оптических покрытий.
  • Нанесение пленок на границе раздела жидкой и твердой фаз.
  • Нанесение фоторезистивного покрытия.
  • Нанесение покрытия золь-гель методом

Технологически процесс нанесения покрытия проводится в 4 основных этапа:

  • Нанесение покрывающей жидкости на подложку при помощи шприца или сопла;
  • Постепенное увеличение скорости вращения подложки до необходимого значения;
  • Подложка вращается с постоянной скоростью и благодаря силе внутреннего трения слой жидкости утончается;
  • На четвертом этапе подложка вращается с постоянной скоростью и происходит выпаривание растворителя.

Внутри прибора имеется вращательная камера с валом, на который крепится держатель. Держатель представляет собой тефлоновый круг с уплотнением и центральным отверстием для крепления подложки при помощи вакуумирования. Помимо этого метода, закрепить образец можно при помощи двустороннего скотча или клейкой лентой. В основной комплектации прибора есть 4 вида держателя под различные размеры подложки.

безмасляный вакуумный насос Для вакуумирования подложки, в качестве опции прибор может быть укомплектован безмасляным вакуумным насосом.

Помимо этого для поддержания необходимой температуры внутри камеры прибор оснащается дополнительным нагревательным элементом, который крепится на крышку.

Ввод раствора для нанесения тонкой пленки может быть произведен шприцом, как до процесса центрифугирования, так и во время его проведения (кроме модели P1).

Закрепив подложку внутри камеры одним из предложенных методов, проводится калибровка вращательного механизма. Она занимает не более 2-3 минут и запускается на дисплее. После успешного прохождения калибровки проводится настройка режима испытания, скорости вращения, количества повторений и других параметров. Убедившись, что все параметры заданы корректно, запускается процесс центрифугирования.

Для того, чтобы произвести сушку, отверждение или исследование полученного покрытия УФ-методом, компанией Apex дополнительно предлагаются ультрафиолетовые осушители UltraV-C1 N.

Некоторые модели серии P1 оснащаются программным обеспечением, которое позволяет регулировать и контролировать работу прибора на компьютере. Обязательным элементом работы программы является построение графика зависимости скорости вращения от времени. Такой график наглядно демонстрирует точность соблюдения заданного режима. В моделях серии P2 график автоматически строится на ЖК-дисплее, встроенном в корпус прибора.

Для осушения покрытий, полученных методом центрифугирования, можно использовать УФ отвердители.

Модельный ряд

Установка нанесения фоторезиста на пластину

Модель SpinNXG-P1 с возможностью задания до 2 программ с размером рабочей камеры 8”

Нанесение фоторезиста на плату

Модель SpinNXG-P1H с возможностью задания до 2 программ с размером рабочей камеры 8” и нагревательным модулем

Программируемая система центрифугирования с температурным контроллером

Модель SpinNXG-P1A с возможностью задания до 15 программ с размером рабочей камеры 8”

Центрифуга для покрытий

Модель SpinNXG-P1AH с возможностью задания до 15 программ с размером рабочей камеры 8” и нагревательным модулем

Нанесение фоторезиста на плату

Модель SpinNXG-P1AC с возможностью задания до 15 программ с размером рабочей камеры 8” и с наличием возможности контроля процесса при помощи ПО

Программируемая система центрифугирования с температурным контроллером

Модель SpinNXG-P1ACH с возможностью задания до 15 программ с размером рабочей камеры 8” и с наличием возможности контроля процесса при помощи ПО, а так же нагревательного модуля

Центрифуга для покрытий

Модель SpinNXG-P2 с возможностью задания до 50 программ с размером рабочей камеры 10” и с наличием графического ЖК дисплея

Центрифуга для покрытий

Модель SpinNXG-P2H с возможностью задания до 50 программ с размером рабочей камеры 10”, а так же с наличием графического ЖК дисплея и нагревательного элемента

Технические характеристики

Характеристики SpinNXG- P1 SpinNXG- P1H SpinNXG- P1A SpinNXG- P1AH SpinNXG- P1AC SpinNXG- P1ACH SpinNXG- P2 SpinNXG- P2H
Система управления с дисплеем ЖК-консоль Графическая ЖК-консоль
Управление с ПК - + -
Скорость вращения* 100 – 10000 об/мин
Точность поддержания скорости < ±1% от максимального значения
Продолжи-
тельность операций
1 – 10000 сек/шаг
Ускорение* 40 - 5000 об/сек (2 - 250 сек)
Количество программ 2 (до 10 шагов /прогр.) 2 (до 10 шагов/ прогр.) 15 (до 20 шагов/ прогр.) 15 (до 20 шагов/ прогр.) 15 (до 20 шагов/ прогр.) 15 (до 20 шагов/ прогр.) 50 (до 100 шагов/ прогр.) 50 (до 100 шагов/ прогр.)
Построение графика зависимости оборотов мешалки от времени + (в ПО) + (в ПО) + (на дисплее) + (на дисплее)
Диаметр рабочего пространства 8” 10”
Вкл/выкл подачи вакуума +
Магнитная блокировка крышки - +
Подсветка рабочей зоны - +
Калибровка +
Устройство слива +
Ввод образца через специальное отверстие в крышке - +
Порты для продувки рабочей камеры инертным газом +
Температурный контроллер (до 70°С) - + - + - + - +
Безмасляный вакуумный насос - Дополнительная опция

*Параметры рассчитаны для подложки с размерами 38 * 25 * 1.3 мм