Система нанесения покрытий методом центрифугирования EZspin-А1

Нанесение покрытий методом центрифугирования требует очень высокой точности. Компания ApexInstruments предлагает своим клиентам обновленную современную систему EZspin-А1 с уникальным диапазоно скоростей от 50 до 12000 об/мин, а также имеющую множество других уникальных функций. Рабочая камера, диаметром 200 мм, имеет высококачественное тефлоновое (PTFE) покрытие.

Высокая скорость и диапазон продолжительности позволяют пользователю достичь желаемой толщины или тонкости пленки. Ускорение также является одним из основных факторов, определяющих этот процесс. Поскольку для нанесения методом центрифугирования  используется центробежная сила, очень важно точно установить параметры нанесения покрытия. Малейшее изменение заданных параметров может привести к кардинальным изменениям получаемой пленки. Как следствие, контроль пользователя ― это важная особенность системы для нанесения покрытий методом центрифугирования.

• Рабочий диапазон вращения: от 50 до 12000 об/мин
• Большой диапазон продолжительности: 1 - 9999 секунд / шаг
• Период разгона: 2-300 секунды
• Рабочая камера: диаметр 200 мм с тефлоновым покрытием
• Функция безопасности: защитная блокировка
• Возможности подключения: Программное обеспечение для ПК (опция)
• УФ-отверждение: модуль УФ-отверждения in-situ (опция)
• ИК-сушка: модуль ИК-сушки in-situ (опция)

EZspin-А1 имеет рабочую камеру с тефлоновым покрытием диаметром 200 мм, также в комплект входит прозрачная защитная верхняя крышка из фоторезиста.

Данная система нанесения покрытия методом центрифугирования имеет встроенную опцию калибровки, которая помогает пользователю добиться равномерного покрытия на подложках различного размера. Наличие уникальных особенностей,  таких как встроенный переключатель сброса вакуума, защитная блокировка крышки, порт для дозирования образца in situ и целое новое поколение программного обеспечения для ПК, специально разработанного для облегчения процесса нанесения покрытия методом центрифугирования.

Управление системой EZspin-А1 осуществляется микроконтроллером. Данная установка оснащена бесщеточным двигателем постоянного тока, который отличается высокой надежностью, поскольку требует очень низких затрат на обслуживание по сравнению с обычным щеточным двигателем постоянного тока. Кроме того, наличие энергонезависимой памяти программ гарантирует, что записанные параметры не будут потеряны при любом случае сбоя питания.

Установка EZspin- А1 оснащена удобным интерфейсом: ввод и управление полностью осуществляется с помощью специально разработанной клавиатуры, что позволяет пользователю полностью контролировать процесс. Количество оборотов в минуту, время и статус программы отображаются на ЖК-консоли в режиме реального времени.

• Микрообработка слоев оксида
• Подготовка тонких пленок высокой однородности на уровнях нано- и микромасштабов
• Подготовка фоторезистентных слоев для фотолитографии и микросхем
• Производство диэлектрических слоев для микроэлектроники
• Нанесение покрытий на плоские дисплей, магнитные диски, CD и DVD диски