Система нанесения покрытий методом центрифугирования EZspin-А1

  • Рабочий диапазон вращения: от 500 до 12000 об/мин
  • Большой диапазон продолжительности: 1 - 9999 секунд / шаг
  • Период разгона: 2-300 секунды
  • Рабочая камера: диаметр 200 мм с тефлоновым покрытием

Производитель APEX

Описание

Нанесение покрытий методом центрифугирования требует очень высокой точности. Компания ApexInstruments предлагает своим клиентам обновленную современную систему EZspin-А1 с уникальным диапазоно скоростей от 50 до 12000 об/мин, а также имеющую множество других уникальных функций. Рабочая камера, диаметром 200 мм, имеет высококачественное тефлоновое (PTFE) покрытие.

Высокая скорость и диапазон продолжительности позволяют пользователю достичь желаемой толщины или тонкости пленки. Ускорение также является одним из основных факторов, определяющих этот процесс. Поскольку для нанесения методом центрифугирования  используется центробежная сила, очень важно точно установить параметры нанесения покрытия. Малейшее изменение заданных параметров может привести к кардинальным изменениям получаемой пленки. Как следствие, контроль пользователя ― это важная особенность системы для нанесения покрытий методом центрифугирования.

Отличительные особенности

  • Рабочий диапазон вращения: от 500 до 12000 об/мин
  • Большой диапазон продолжительности: 1 - 9999 секунд / шаг
  • Период разгона: 2-300 секунды
  • Рабочая камера: диаметр 200 мм с тефлоновым покрытием
  • Функция безопасности: защитная блокировка
  • Возможности подключения: Программное обеспечение для ПК (опция)
  • УФ-отверждение: модуль УФ-отверждения in-situ (опция)
  • ИК-сушка: модуль ИК-сушки in-situ (опция)

Точное пленочное покрытие

EZspin-А1 имеет рабочую камеру с тефлоновым покрытием диаметром 200 мм, также в комплект входит прозрачная защитная верхняя крышка из фоторезиста.

Данная система нанесения покрытия методом центрифугирования имеет встроенную опцию калибровки, которая помогает пользователю добиться равномерного покрытия на подложках различного размера. Наличие уникальных особенностей,  таких как встроенный переключатель сброса вакуума, защитная блокировка крышки, порт для дозирования образца in situ и целое новое поколение программного обеспечения для ПК, специально разработанного для облегчения процесса нанесения покрытия методом центрифугирования.

Сложный механизм и электроника

Управление системой EZspin-А1 осуществляется микроконтроллером. Данная установка оснащена бесщеточным двигателем постоянного тока, который отличается высокой надежностью, поскольку требует очень низких затрат на обслуживание по сравнению с обычным щеточным двигателем постоянного тока. Кроме того, наличие энергонезависимой памяти программ гарантирует, что записанные параметры не будут потеряны при любом случае сбоя питания.

Простой пользовательский интерфейс для удобства поиска

Установка EZspin- А1 оснащена удобным интерфейсом: ввод и управление полностью осуществляется с помощью специально разработанной клавиатуры, что позволяет пользователю полностью контролировать процесс. Количество оборотов в минуту, время и статус программы отображаются на ЖК-консоли в режиме реального времени.

Области применения

  • Микрообработка слоев оксида
  • Подготовка тонких пленок высокой однородности на уровнях нано- и микромасштабов
  • Подготовка фоторезистентных слоев для фотолитографии и микросхем
  • Производство диэлектрических слоев для микроэлектроники
  • Нанесение покрытий на плоские дисплей, магнитные диски, CD и DVD диски

Технические характеристики

  • Высокоскоростной двигатель постоянного тока для быстрого достижения скорости
  • Программируемый диапазон вращения 50 – 12000 об/мин с ошибкой менее 1%
  • Программируемый диапазон ускорения: 40-6000 об/мин / с
  • Программируемый диапазон продолжительности: 1-9999 с / шаг
  • 30 программ с 50 шагами / Программу
  • Встроенные опции прогрева и самодиагностики
  • Дренажное устройство
  • Энергонезависимая память
  • Простой и понятный пользовательский интерфейс
  • Графический ЖК-дисплей
  • Отображение скорости вращения в режиме реального времени
  • Ввод и управление через клавиатуру
  • Порт продувки азотом и другим инертным газом
  • Переключатель питания на задней панели
  • Встроенный переключатель сброса вакуума
  • Встроенная блокировка крышки
  • Круглая рабочая камера с  тефлоновым покрытием диаметром 200 мм
  • Прозрачная защитная крышка камеры образцов для контроля процесса нанесения покрытия вживую
  • Порт для дозирования образца в рабочую камеру in situ
  • Универсальная потребляемая мощность: 100-230 В переменного тока (50-60 Гц)
  • Модуль подключения к ПК (опция)
  • Модуль УФ-отверждения in-situ (опция)
  • Модуль ИК-сушки in-situ (опция)
  • Модуль автоматической подачи образца (опция, выйдет скоро)