Сканирующий автоматизированный акустический микроскоп Auto Line

Полностью автоматизированные акустические микроскопы серии SAM Auto Line позволяют легко обнаруживать полости, пустоты, пузырьки, включения и расслоения и идеально подходят для проверки пластин и подложек, проверки соединений и проверки МЭМС. Пакет программного обеспечения для автоматического просмотра дефектов выполняет полностью автоматизированную оценку всей подложки. А использование в SAM Auto Line роботизированных компонентов для автоматической загрузки и выгрузки материалов, автоматического сканирования и автоматического распознавания, анализа и проверки на основе ИИ позволяет сканировать целые партии продукции.

• Автоматическая или ручная загрузка и выгрузка образцов
• Автоматическое удаление пузырьков воды
• Автоматическое ультразвуковое сканирование
• Автоматическая сушка образцов
• Распознавание на основе искусственного интеллекта (ИИ)
• Автоматическая загрузка данных
• Кастомизируемый патрон/зажим
• Несколько каналов (2 или 4 канала)

• SAM Auto Line был специально разработан для сканирования подложек типа HPD/ED3, DCM и DBC/AMB.

• Габаритные размеры установки: 3000 × 1500 × 2000 мм
• Размер водяной камеры: 675 × 1500 × 150 мм (возможность кастомизации)
• Диапазон сканирования: 400 × 1000 мм
• Точность позиционирования по XY: ± 0.1 мкм
• Скорость сканирования: 1500 мм/сек
• Разрешение: 1 – 4000 мкм
• Загрузка и выгрузка: автоматическая линия
• Программное обеспечение для автоматического просмотра дефектов на базе ИИ