Лазерный конфокальный модуль промышленного типа NS-3800

  • Неразрушающий оптический 3D-контроль с высоким разрешением
  • Получение конфокального изображения в реальном времени
  • Возможность адаптации для анализа больших образцов
  • Автоматический поиск усиления для тонкой фокусировки
  • Различное оптическое увеличение для наблюдаемой области

Производитель NANOSCOPE Systems, Inc

Особенности

NS-3800 представляет собой высокоскоростной конфокальный лазерный сканирующий модуль для проведения высокоточных и надежных трехмерных измерений топографии поверхности. Данный модуль был спроектирован как основная измерительная часть с возможностью установки на различные системы перемещения – это позволяет проводить измерения топографии поверхности в различных областях достаточно крупных образцов. Простота установки и надежная конструкция промышленного типа предоставляют надежное решение в тех случаях, где настольные портативные системы (см. NS-3500) не могут быть применены. Имеется возможность кастомизации системы под измерение пользовательских образцов.

  • Неразрушающий оптический 3D-контроль с высоким разрешением
  • Получение конфокального изображения в реальном времени
  • Различное оптическое увеличение для наблюдаемой области
  • Автоматический поиск усиления для тонкой фокусировки
  • Простота анализа полученных данных
  • Высокоточное и высокоскоростное измерение высоты
  • Отсутствие пробоподготовки
  • Режим двойного сканирования вдоль вертикальной оси Z

Лазерный конфокальный модуль Высокоскоростной лазерный сканирующий модуль

Примеры измерений с помощью NS-3800

  • Оценка параметров 1: количественный анализ текстуры солнечного элемента
    Анализ текстуры солнечного элемента
  • Оценка параметров 2: количественный анализ текстуры солнечного элемента
    Количественный анализ текстуры солнечного элемента
  • Автоматическая регистрация: измерение параметров и создание отчета с помощью алгоритма количественной оценки
    Измерение параметров, автоматическая регистрация и создание отчетов
  • Отчет об измеренных параметрах: измерение параметров и создание отчета с помощью алгоритма количественной оценки
    Отчет об измеренных параметрах
  • Трехмерная визуализация пирамидальной текстуры солнечного элемента
    Трехмерная визуализация пирамидальной текстуры солнечного элемента
  • Количественной анализ дорожки солнечного элемента: двумерный график профиля дорожки вдоль установленной линии сечения
    Количественной анализ дорожки солнечного элемента: двумерный график профиля дорожки вдоль установленной линии сечения
  • Количественной анализ дорожки солнечного элемента: отчет об измеренных параметрах
    Количественной анализ дорожки солнечного элемента: отчет об измеренных параметрах
  • Трехмерная визуализация выбранной дорожки солнечного элемента
    Трехмерная визуализация выбранной дорожки солнечного элемента

Технические характеристики

Модель NS-3800
Контроллер NS-3500E
Увеличение рабочего объектива 10Х 20Х 50Х 100Х 150Х
Поле зрения объектива По горизонтали (мкм) 1400 700 280 140 93
По вертикали (мкм) 1050 525 201 105 70
Рабочее расстояние (мм) 16.5 3.1 0.54 0.3 0.2
Числовая апертура (NA) 0.30 0.46 0.80 0.95 0.95
Оптическое увеличение От 1Х до 6Х
Общее увеличение От 178Х до 26700Х
Измерение высоты Диапазон измерения по высоте 1) Точное сканирование: 100 мкм и/или
Грубое сканирование: 10 мм (NS-3800-L)
Точное сканирование: 400 мкм или
Грубое сканирование: 10 мм (NS-3800-D)
Точное сканирование: 200 мкм или
Грубое сканирование: 10 мм (NS-3800-T)
Пространственное разрешение 0.001 мкм
Воспроизводимость (3σ) 2) 0.010 мкм
Измерение ширины Пространственное разрешение 0.001 мкм
Воспроизводимость (3σ) 3) 0.020 мкм
Получение кадров данных Разрешающая способность 1024×768, 1024×384, 1024×192, 1024×96 пикс.
Конфокальное изображение 12 бит
Цветное изображение 8 бит для каждого RGB элемента
Измерение высоты 16 бит
Скорость сканирования Сканирование поверхности 20 – 160 Гц
Линейное сканирование  ≈8 кГц
Автоматические функции Автоусиление, автофокусировка
Лазерный источник для конфокальных измерений Длина волны 405 нм
Выходная мощность ≈ 2 мВт
Класс лазера Класс 3b
Детектор лазерного излучения ФЭУ
Источник света для оптического наблюдения LED диод, 10 Вт
Камера для оптического наблюдения Тип Цветная ПЗС, 1/2”
Разрешающая способность 640 × 480
Автонастройка Усиление, скорость затвора
Блок обработки данных Специализированный ПК
Источник питания Напряжение питания 100 – 240 В, перем. ток, 50/60 Гц
Энергопотребление Макс. 500 ВА
Вес Микроскоп ≈ 8 кг
Контроллер ≈ 8 кг
Система виброизоляции (опционально) Активная виброизоляция

1) Точное сканирование осуществляется за счет пьезоэлектрического привода (PZT). Режим двойного сканирования –SD (точное + грубое) доступен только для модели NS-3800-L.

2) Стандартный образец с высотой ступени 1 мкм измерен 100 раз с помощью объектива 100Х/NA 0.95

3) Стандартный образец с шагом структуры 5 мкм измерен 100 раз с помощью объектива 100Х/NA 0.95

Габаритные размеры, мм

Габаритные размеры и параметры конфокального лазерного модуля