Гибридный XEM комплекс (HYBRID XEM)

SEM высокого разрешения + Рентгеновская система микрофокусировки + Электронно-лучевая система микрообъединения

Hybrid XEM представляет собой инструмент для объединения элементов на наноуровне, который одновременно может обеспечивать наблюдение за поверхностью (SEM) и получать  рентгеновские просвечивающие изображения. Данная система была специально разработана для применения в нанотехнологических процессах и для измерения субмикронных элементов на рентгеновских изображениях. Hybrid XEM позволяет получать высококонтрастные изображения при низких напряжениях, что открывает для данного микроскопа широкий ряд применений.

• Возможность получения SEM изображений в нм масштабе
• Уникальная система объединения лучей
• Субмикрометровый размер рабочего луча + зондовый ток более 100 мкА
• Легкость наведения на мкм объекты
• Возможность наблюдения за поверхностью обрабатываемого образца
• Кастомизация под исследовательский инструмент

1. Электронная оптическая система
   • Размер луча: 15 нм – несколько десятков мкм
   • Ускоряющее напряжение: 35 кэВ (макс. 40 кэВ)
   • Изображение: электронный дисплей
   • Ток зондирования: несколько пА – десятки мкА (SEM), 50 – 120 мкА (рентген)
   • Увеличение: 5^Х – 100,000^Х (SEM), 5^Х – 3,000^Х (рентген)
2. Детектор: опция
3. Отображение результатов: режим анализа, режим исследования, режим фотографии
4. Рабочее расстояние: 50 мм
5. Система вакуумирования
   • Полная автоматизация (или ручной режим)
   • Роторный насос + диффузионный насос, манометры Пирани + Пеннинга
   • Линия вакуумирования и система клапанов
   • Стойка управления
6. Управляющее программное окружение и аксессуары
   • Windows M (98/2000/XP)
   • Последовательная связь: интерфейс управления данными; отдельный внешний блок управления драйвером (общая SET плата драйверов)
   • Интегрируемая плата для нейтрализатора/малой камеры экранирования (без измерителя тока)
   • Камера круглого типа, вакуумный фланец
7. Параметры управляющего ПК
   • 19-дюймовый LCD-монитор с разрешением 1024×1024 пикселя для рентгеновских исследований
   • Процессор Intel Quad Core с частотой 3.0 ГГц
   • Оперативная память 1 Гб
   • Возможность подключения к локальной сети