Гибридная электронно-лучевая система микрообъединения AIW50

  • Режим SEM для получения изображений в нанометровом диапазоне разрешения
  • Режим электронно-лучевого микрообъединения для сплавления/спекания субмикронных частиц (макс. ток 100 мкА)
  • Возможность кастомизации (камеры для образцов, предметные столики, насосы и т.п.)
  • Низко кэВ электронная пушка
  • Возможность присоединения манипулятора к камере для образцов
  • Возможность отслеживания процесса с помощью BSE детектора

Производитель Seron Technologies

Особенности

Система AIW50 объединяет в себе функционалы для сканирования поверхности, объединения и спекания. Такая электронно-лучевая система наиболее подходит для объединения частиц на микроуровне за счет минимизации тепловых деформаций благодаря использованию технологии фокусировки пучка в малое пятно. Данная особенность также позволяет повысить степень интеграции.

  • Режим SEM для получения изображений в нанометровом диапазоне разрешения
  • Режим электронно-лучевого микрообъединения для сплавления/спекания субмикронных частиц (макс. ток 100 мкА)
  • Возможность кастомизации (камеры для образцов, предметные столики, насосы и т.п.)
  • Низко кэВ электронная пушка
  • Возможность присоединения манипулятора к камере для образцов
  • Возможность отслеживания процесса с помощью BSE детектора

Области применения

  • Электронно-лучевое микрообъединение (сплавление, спекание) чистых поверхностей
  • Качественное сплавление металлов с высокой отражательной способностью (Ag, Cu)
  • Плавление микрометаллических порошков: Ti, Al, Co-Cr, различные сплавы
  • Создание высокотехнологичных чипов, клапанов и т.п. сложной конструкции
  • Расплавление/объединение корпусов микропроцессоров, газовых сенсоров
  • Высокоточная сварка различных деталей и запчастей: авиа-, авто-, аэрокосмическая и энергетическая промышленность
  • Создание ортопедических имплантов/имплантатов

Характеристики электронной пушки

  • Вольфрамовый филамент (LaB6 филамент – опционально)
  • Высокая производительность на низкой мощности
  • Система быстрого отклика для предотвращения сваривания
  • Высокая воспроизводимость и качество сварки
  • Возможность установки пушки на роботизированный манипулятор
  • Ускоряющее напряжение 35 кэВ (макс. 40 кэВ)
  • Ток зондирования 50 мкА (макс. 100 мкА для макрообъединения)
  • Отслеживание сварного шва с помощью детектора (система охлаждения предотвращает повреждение от электронов)