Спектральный эллипсометр для измерения толщины тонких пленок

Спектральный эллипсометр (спектроэллипсометр) Elli-SE

  • Для исследования характеристик всех типов материалов: диэлектриков, полупроводников, органики и многих других
  • Измеряемые константы: толщина пленки, n, k через λ
  • Производительность: 10~15 с на точку (зависит от типа пленки)
  • Доп. опции

Производитель Ellipso Technology

Описание

Спектральный эллипсометр Elli-SE является отраслевым стандартом для исследования сложных многослойных структур, используется всей полупроводниковой промышленностью и производителями топ-дисплеев. Это мощная и надежная оптическая технология позволяет получать информацию об амплитудных и фазовых изменениях в широком спектральном диапазоне. Эллипсометрические измерения позволяют определять оптические показатели многих сложных пленок, в том числе OLED пленок, антибликовых покрытий, солнечных ячеек и пленок с низкими и высокими значениями оптических констант и т.д.

Особенности

  • Простота работы и быстрое измерение
  • Безконтактное и неразрушающее измерение
  • Высокая повторяемость
  • Двух- и трех-мерное отображение карты данных
  • Измерение многослойных пленок

Структура спектрального эллипсометра

Источник света Вольфрамовая галогеновая лампа (380 нм ~1,500 нм)
Система коллимирующих линз
Размер светового пучка  Стандартно ≥ 1.5 мм
Модуль поляризатора Коллимационная оптическая система, кристалл единичного поляризатора (215 – 1,000 нм)
Вращающийся поляризатор: блок управления микрошаговым двигателем
Модуль анализатора Коллимационная оптическая система, кристалл единичного поляризатора (215 – 1,000 нм)
Вращающийся поляризатор: блок управления микрошаговым двигателем
Спектрограф  Диапазон длин волн: 200 нм ~ 1,000 нм (ПЗС тип)
 Разрешающая способность: 1.5 нм
Угол падения Регулируемый вручную угол падения в диапазоне 60°~ 90° (шаг 5°)
Эллипсометрические углы Пси: диапазон 0° ~ 90° Повторяемость, ≤ ± 0.02°
Дельта: диапазон 0° ~ 180° Повторяемость, ≤ ± 0.10° с фазовой пластинкой
Коллимирующая система  Автоколлиматор
 Предметный столик  круглый, диаметр 150 мм

Применение

  • Полупроводники Si, Ge, ONO, ZnO, PR, poly-Si, GaN, GaAs, Si3N4 
  • Дисплеи (в т.ч. OLED) MgO, ITO, PR, Alq3 , CuPc, PVK, PAF, PEDT-PSS, NPB, SiO2, ONO 
  • Диэлектрики SiO2, TiO2, Ta2O5, ITO, AIN, ZrO2, Si3N4, Ga2O3, водные окислы
  • Полимеры красители, NPB, MNA, PVA, PET, TAC, PR 
  • Химия органические пленки (OLED) и LB тонкие пленки 
  • Солнечные элементы SiN, a-Si, поли-Si, SiO2, Al2O3 

Опции

  • УФ система 

- Спектральный диапазон 220 нм ~ 1000 нм 

- Источник света: Дейтериевая и галогеновая лампы 

  • Система построения изображения 

- ПЗС камера и видеомонитор  

  • Автоматическое картирование 

- R- θ, X-Y подвижный столик 

- Размеры столика 200мм и 300 мм 

  • Высоко скоростное измерение 

- 1.5 с на точку (зависит от типа пленки) 

Технические характеристики

  • Диапазон длин волн 380 нм~1000 нм (UV опция: 240 нм – 1000 нм)
  • Размер светового пучка ≥ 1.5 мм 
  • Измеряемые константы: толщина пленки, n, k через λ 
  • Диапазон толщин от суб Å до 10 мкм (зависит от типа пленки) 
  • Число слоев: до 10 (зависит от типа пленки) 
  • Производительность 10~15 с на точку(зависит от типа пленки) 
  • Опция: высокоскоростное измерение 1.5 с на точку 
  • Повторяемость (3σ) ± 0.3 Å за 10 измерений
  • Дисперсионное уравнение Коши, Зельмера, Лоренца, квантово-механическое и другие
  • Дополнительные возможности спектроэллипсометра:
    • определение коэффициентов отражения и затухания, 
    • оптическая ширина запрещённой (энергетической) зоны 
    • плотность и структура слоя
    • функциональная библиотека диэлектриков 
    • определяемые пользователем модели 
    • возможность импорта и экспорта информации
    • расширяемая библиотека