Спектральный рефлектометр Elli-RP

Спектральный рефлектометр Elli-RPX

  • Для надежного, быстрого и точного измерения толщин пленок
  • Измеряет толщину пленки, n, k через λ, отражательную способность
  • Производительность: 0.5 с на точку
  • Повторяемость ± 1Å при измерении 10 раз
  • Уникальные передовые технологии в проведении быстрого преобразования Фурье (БПФ) для быстрого и точного измерения/анализа тонких пленок

Производитель Ellipso Technology

Структура спектрального рефлектометра

  • Источник света: Галогеновая лампа 
  • Оптическая система: рефракционная оптическая система, система коллимационных линз, разветвленное волокно
  • Размер светового пучка: 1-5 мм
  • Спектральный диапазон: 380 нм ~ 1000 нм (UV опция: 240 нм – 1000 нм)
  • Тип спектрографа: ПЗС матрица

Применение

Полупроводники  Si, Ge, SiO2, ONO, ZnO, PR, BLT, poly-Si, GaN, GaAs
Дисплеи (в т.ч. OLED)  MgO, ITO, PR, Alq3, CuPc, PVK, PAF, PEDT-PSS
 Диэлектрики  SiO2, TiO2, Ta2O5, ITO, AiN, ZrO2, Si3N4, Ga2O3, водные окислы
 Полимеры  Красители, Npp, MNA, PVA, PET, TAC, PR
 Химия  Органические пленки (OLED) и LB тонкие пленки
 Солнечные ячейки   Sin, a-Si, поли-Si, SiO2

Опции

  • Система измерения толстых пленок: диапазон толщин 1-300 мкм
  • Автоматическое картирование: X-Y подвижный столик
  • Мульти проба: поточная линия (опционно)
  • UV оцпия : 200 – 1000 нм 

Технические характеристики

  • Измеряемые константы: толщина пленки, n, k через λ, отражательная способность
  • Диапазон толщин 10 нм ~ 50 мкм (зависит от типа пленки)
  • Число слоев: до 3 слоев (зависит от типа пленки)
  • Производительность: 0.5 с на точку (зависит от типа пленки)  
  • Повторяемость ± 1Å при измерении 10 раз
  • Рабочее расстояние: 100 +/- 50 мм