Установка вакуумного напыления для нанесения износостойких просветляющих алмазоподобных (DLC ) равномерных по толщине покрытий Diamanta
- Нанесение покрытий на германиевые и кремниевые детали
- Размер обрабатываемой подложки 370x420 мм
- Оптический контроль толщины покрытия
- 2 вакуумных камеры
- Шлюзовая загрузка
Производитель Изовак
Описание
Особенности
Вакуумная установка предназначена для нанесения износостойких просветляющих алмазоподобных (DLC ) равномерных по толщине покрытий
Вакуумная установка предназначена для нанесения износос тойких просветляющих алмазоподобных (DLC ) равномерных по толщине покрытий на германиевые и кремниевые детали размером до 370x420x40 мм для ИК-диапазона спектра (на области 3-5 мкм и 7-14 мкм), с оптическим контролем толщины покрытия в процессе нанесения.
Технические характеристики
| Размер обрабатываемой подложки, мм | 370 х 420 |
| Предельное остаточное давление в чистой камере без оснастки, не выше, Па | 8 х 10-4 |
| Время достижения предельного остаточного давления, не более, мин | 60 |
| Время достижения давления 1 х 10-3 Па в чистой камере с начала высоковакуумной откачки, не более, минут | 30 |
| Количество вакуумных камер шт. | 2 |
| Метод загрузки подложек | Через шлюзовую камеру |
| Натекание в камеру в течение 10 часов, не более, л Па/с | 1 х 102 |
| Количество Ионных источников, шт | 2 |
| Неравномерность покрытий по толщине для всей поверхности подложкодержателя не должна превышать, % | ±3 |
| Масса, не более, кг, | 2000 |
| Потребляемая мощность, не более, кВт | 20 |