Вакуумная установка для дисплейного применения SE-300

• Нанесение герметизирующих слоев на основе Si3N4 и SiO2;
• Нанесение прозрачных проводящих покрытий с улучшенными характеристиками.

Вакуумная установка "чистый сканер" для дисплейного применения.Установка SE-300 разработана для получения новых типов покрытий, применяемых в органических дисплеях. Данные вакуумные установки особенно эффективны для получения тонкопленочных герметизирующих покрытий на основе Si₃N₄, а также прозрачных проводящих покрытий с улучшенными характеристиками. Легкая интеграция вакуумных установок SE-300 в новые и существующие производственные линии OLED дисплеев обеспечена применением дополнительной шлюзовой замеры, имеющей индивидуальную высоковакуумную систему откачки и высоковакуумный робот-манипулятор.

• Ионно-лучевой источник распыления с четырехпозиционным узлом сменных мишеней обеспечивает широкие возможности по проведению как исследовательских работ, так и осуществлению производства тонкопленочных структур различного состава и сложности
• Применение ионно-лучевых технологий компании Изовак для нанесения покрытий непосредственно на органические структуры без ухудшения их характеристик успешно подтверждено заказчиками
• Очень низкий уровень генерации частиц при нанесении покрытий достигается за счет особой конструкции механизма перемещения ионных источников, практически не имеющего пар трения;
• Интеграция в исследовательские или производственные OLED линии обеспечена, при необходимости, шлюзовой камерой с высоковакуумным роботом-загрузчиком
• Размер обрабатываемых подложек 200x200 мм и 370x470 мм
• Нагрев подложек может устанавливаться по заказу
• Конструкция вакуумной установки соответствует требованиям чистых помещений Class 1000

• OLED дисплеи