Вакуумная напылительная установка для покрытий с низким рассеиванием и высокой лучевой стойкостью LIDIZ
- Нанесение прецизионных оптических покрытий для лазерного применения
- Подложкодержатель Ø320 мм
- Равномерность покрытий ±0.5%
- Диапазон оптического контроля 350-1050 нм
- Разрешающая способность 1 нм
Производитель Изовак
Особенности
Вакуумная напылительная установка LIDIZ предназначена для нанесения прецизионных оптических покрытий для лазерного применения.
Осаждение материала происходит способом ионно-лучевого распыления. Загрузка/выгрузка подложкодержателя осуществляется через шлюзовую камеру.
Подложкодержатель представляет собой диск диаметром 320 мм. Равномерность покрытий в зоне подложкодержателя от от D=200 мм до D= 285 мм составляет ±0.5%. Эффективная площадь нанесения с учетом свидетелей составляет 375 см2 .
Контроль толщины напыляемой пленки – спектральный оптический по прозрачному свидетелю. Диапазон оптического контроля 350-1050 нм. Разрешающая способность 1 нм. Работа оптического контроля основана на спектральном широкополосном измерении пропускания свидетеля.
Система управления обеспечивает проведение технологического процесса в ручном или автоматическом режимах.
