Вакуумная напылительная установка для покрытий с низким рассеиванием и высокой лучевой стойкостью LIDIZ

  • Нанесение прецизионных оптических покрытий для лазерного применения
  • Подложкодержатель Ø320 мм
  • Равномерность покрытий ±0.5%
  • Диапазон оптического контроля 350-1050 нм
  • Разрешающая способность 1 нм

Производитель Изовак

Особенности

Вакуумная напылительная установка LIDIZ предназначена для нанесения прецизионных оптических покрытий для лазерного применения.

Осаждение материала происходит способом ионно-лучевого распыления. Загрузка/выгрузка подложкодержателя осуществляется через шлюзовую камеру. 

Подложкодержатель представляет собой диск диаметром 320 мм.  Равномерность покрытий в зоне подложкодержателя от от D=200 мм до D= 285 мм составляет ±0.5%. Эффективная площадь нанесения с учетом свидетелей составляет 375 см2 .

Контроль толщины напыляемой пленки – спектральный оптический по прозрачному свидетелю. Диапазон оптического контроля 350-1050 нм. Разрешающая способность 1 нм. Работа оптического контроля основана на спектральном широкополосном измерении пропускания свидетеля.

Система управления обеспечивает проведение технологического процесса в ручном или автоматическом режимах.