Система нанесения покрытий методом центрифугирования EZspin-ADV

  • Рабочий диапазон вращения: от 500 до 8000 об/мин
  • Большой диапазон продолжительности: 1 - 1200 секунд
  • Период разгона: 2-3 секунды.
  • Рабочая камера: диаметр прим. 200 мм с тефлоновым покрытием

Производитель APEX

Описание

Нанесение покрытий методом центрифугирования требует очень высокой точности. Компания ApexInstruments предлагает своим клиентам систему начального уровня EZspin-ADV, которая имеет рабочую камеру диаметром 200 мм с покрытием из высококачественного тефлона (PTFE), а также оснащена удобным пультом управления с ЖК-экраном, что с легкостью позволяет управлять процессами нанесения покрытий в реальном времени.

Высокая скорость и диапазон продолжительности позволяют пользователю достичь желаемой толщины или тонкости пленки. Ускорение также является одним из основных факторов, определяющих этот процесс. Поскольку для нанесения методом центрифугирования  используется центробежная сила, очень важно точно установить параметры нанесения покрытия. Малейшее изменение заданных параметров может привести к кардинальным изменениям получаемой пленки. Как следствие, контроль пользователя ― это важная особенность системы для нанесения покрытий методом центрифугирования.

Отличительные особенности

  • Рабочий диапазон вращения: от 500 до 8000 об/мин
  • Большой диапазон продолжительности: 1 - 1200 секунд
  • Период разгона: 2-3 секунды.
  • Рабочая камера: диаметр прим. 200 мм с тефлоновым покрытием

Точное пленочное покрытие

EZspin-ADV имеет рабочую камеру с тефлоновым покрытием диаметром 200 мм, также в комплект входит прозрачная защитная верхняя крышка из фоторезиста.

Данная система нанесения покрытия методом центрифугирования имеет встроенную опцию калибровки, которая помогает пользователю добиться равномерного покрытия на подложках различного размера.

Сложный механизм и электроника

Управление системой EZspin-ADV осуществляется микроконтроллером. Данная установка оснащена бесщеточным двигателем постоянного тока, который отличается высокой надежностью, поскольку требует очень низких затрат на обслуживание по сравнению с обычным щеточным двигателем постоянного тока. Кроме того, наличие энергонезависимой памяти программ гарантирует, что записанные параметры не будут потеряны при любом случае сбоя питания.

Простой пользовательский интерфейс для удобства поиска

Установка EZspin-ADV оснащена удобным интерфейсом: ввод и управление полностью осуществляется с помощью аналого-цифровой преобразователь, что позволяет пользователю полностью контролировать процесс. Количество оборотов в минуту, время и статус программы отображаются на ЖК-консоли в режиме реального времени.

Области применения

  • Микрообработка слоев оксида
  • Подготовка тонких пленок высокой однородности на уровнях нано- и микромасштабов
  • Подготовка фоторезистентных слоев для фотолитографии и микросхем
  • Производство диэлектрических слоев для микроэлектроники
  • Нанесение покрытий на плоские дисплей, магнитные диски, CD и DVD диски

Технические характеристики

  • Управление от микроконтроллера
  • Бесщеточный электродвигатель
  • Рабочий диапазон вращения 500 – 8000 об/мин с ошибкой менее 1%
  • Продолжительность: 1 – 1200 секунд
  • Отображение скорости вращения, оставшегося времени и текущего статуса на ЖК-экране в режиме реального времени
  • Энергонезависимая память
  • Ввод параметров с помощью аналого-цифрового преобразователя
  • Рабочая камера с  тефлоновым покрытием диаметром 200 мм
  • Простой и понятный пользовательский интерфейс
  • Переключатель питания на задней панели
  • Встроенные опции прогрева и самодиагностики
  • Прозрачная защитная крышка камеры образцов для контроля процесса нанесения покрытия вживую
  • Универсальный адаптер питания
  • Мощность: 100 Вт (максимум)