Цифровой регулятор массового расхода

Цифровой регулятор массового расхода высокой производительности Серия MC-3000L

  • Диапазон регулирования расхода: 2 ～ 100%
  • Режим работы клапана: нормально открытый, нормально закрытый
  • Время отклика: 1 с
  • Давление выдерживания: 1МПа(G)
  • Привод регулирующего клапана: пьезоэлектрический привод

Производитель LINTEC

Узнайте цену

Особенности

Цифровой регулятор массового расхода высокой производительности с высокой точностью ±1.0 %

  • Высокая точность ± 1,0%
  • Цифровой интерфейс RS-485
  • Встроенный датчик LINTEC с температурной компенсацией окружающей среды
  • Высокофункциональный при установке микропроцессора
  • Мембранный клапан с небольшим мертвым объемом
  • Высокоскоростной и высокопроизводительный пьезоэлектрический привод
  • Долговременная герметичность обеспечивается с помощью металлического уплотнения
  • Используя металлический корпус и различные фильтры, можно добиться стабильной работы за счет снижения радиочастотных помех и помех электромагнитного поля.

Области применения газовых расходомеров

1. Производство полупроводников. Газовые расходомеры задействованы в следующих процессах:

  • Сухое травление
  • Очистка пластин
  • Напыление пластин
  • Химическое парофазное осаждение
  • Ионная имплантация

2. Производство плоскопанельных дисплеев и солнечных батарей: 

  • Сухое травление
  • Очистка пластин
  • Химическое парофазное осаждение 
  • Физическое осаждение из паровой фазы
  • Побочные продукты

3. Автомобилестроение:

  • Оценка выхлопных газов
  • Производство топливных элементов

Технические характеристики

Модель MC-3102L MC-3202L MC-3252L MC-3452L MC-3462L MC-3472L MC-3582L
Расход в азоте (полный диапазон) 5 ～ 5,000 см3/мин ～ 20 л/мин ～ 50 л/мин ～ 50 л/мин ～  150 л/мин ～ 200 л/мин ～ 300 л/мин ～ 400 л/мин
Диапазон регулирования расхода 2 ～ 100%
Режим работы клапана Нормально открытый, нормально закрытый Нормально закрытый
Точность 100% ～ 25%  ±1.0%
25%～ 2% ±0.25% (полная шкала)		 100%～ 35%  ±1.0%  
35%～ 2%  ±0.35% (полная шкала)		 ±1.0% (полная шкала). ±2.0% (полная шкала) ±3.0% (полная шкала)
Воспроизводимость ±0.2% F.S. ±0.5% F.S. ±1.0% F.S.
Время отклика 1 с 2 с
Аналоговый сигнал настройки скорости потока 0～ 5 Впст
Аналоговый выходной сигнал скорости потока 0～ 5 Впст
Рабочее дифференциальное давление 50 ～ 300кПа Нормально открытый клапан
50 ~ 300 кПа (~ 10 л/мин)
100 ~ 300 кПа (~ 20 л/мин)
Нормально закрытый клапан
100 ~ 300 кПа (~ 10 л/мин)
200 ~ 300 кПа (~ 20 л/мин)		 100 ～ 300 кПа (～ 30л/мин)
150 ～ 300 кПа (～ 50 л/мин)		 150 ～ 500 кПа 250 ～ 500 кПа 350 ～ 500 кПа 320 ～ 500 кПа 50 ～ 500 кПа
Давление выдерживания 1МПа(G)
Температурный коэффициент Ноль ±0.02% / ℃ ±0.1% / ℃
Шаг ±0.02% / ℃ ±0.04% / ℃ ±0.08% / ℃ ±0.1% / ℃
Рабочая температура 5 ～ 50℃　0 ～ 80% относительная влажность
Герметичность 1×10-11Па・м3 / с He 1×10-8Пa・м3 / с He
Материалы, подверженные воздействию газа SUS316L, ПТФХЭ, ПТФЭ SUS316L, SUS304, Тефлон®
Материал уплотнения Au
Требования к питанию +15Впст ±3% 100мА, -15 Впст ±3% 50 мА
Положение монтажа Любое
Аналоговый разъем Dsub 9 контактов
Цифровой интерфейс RJ45/RS-485
Привод регулирующего клапана Пьезоэлектрический привод
Вес 1.0 кг 1.4 кг 2.4 кг
В каталог