Регулятор паров Серия LVC-414

Производитель LINTEC

Описание

Характеристики

Описание

Автоматическая регулировка концентрации барботажного газа путем контроля как скорости потока, так и концентрации газа-носителя и барботажного газа

Устранение проблемы нестабильности во время барботажа с помощью автоматического контроля концентрации, несмотря на такие факторы, как температура, давление и уровень поверхности жидкости
Возможность использовать различные жидкости, такие как SiCl4, POCl3 и BBr3

1. Производство полупроводников. Газовые расходомеры задействованы в следующих процессах:

2. Производство плоскопанельных дисплеев и солнечных батарей:

3. Автомобилестроение:

Модель		LVC-414
Расход газа-носителя		10 ～ 10,000 см³/мин
Диапазон расхода (жидкости)		12 ～40,000 мг
Управляемый диапазон расхода		5 ～ 100%
Режим работы клапана		Нормально открытый
Точность		±4.0%
Линейность		±4.0%
Воспроизводимость		±0.5%
Время отклика		10 с
Аналоговый сигнал настройки скорости потока		0.5～ 5 Впст
Аналоговый выходной сигнал скорости потока	Жидкость	0～ 5 Впст
	Газ-носитель	0.25～ 5 Впст
	Соотношение	1～ 5 Впст
Рабочее дифференциальное давление		60 ～ 300 кПa
Давление выдерживания		400 кПа
Рабочая температура		5 ～ 35℃
Герметичность		2×10^-8 атм・см³ / с He
Смачиваемые материалы		SUS316L
Материал уплотнения		Витон
Требования к питанию		+15Впст, 15 Вт Макс.
Положение монтажа		Любое
Аналоговый разъем		Elco 8016 20контактов
Привод регулирующего клапана		Термоклапан
Вес		3 кг

Другие приборы раздела «Регуляторы массового расхода для газов»Все приборы раздела

Аналоговый выходной сигнал скорости потока : 0～ 5 Впст
Рабочее дифференциальное давление: 10-400 кПа
Рабочая температура: 80 ～ 100℃ 0 ～ 80% относительная влажность; 100 ～ 120℃ 0 ～ 80% относительная влажность
Давление выдерживания: 400 кПа