Цифровой регулятор массового расхода высокой производительности Серия MМ-3000L
- Аналоговый выходной сигнал скорости потока: 0～ 5 Впст
- Рабочее дифференциальное давление : 10-400 кПа
- Рабочая температура : 5 ～ 50℃ 0 ～ 80% относительная влажность
- Давление выдерживания: 1МПа(G)
Производитель LINTEC
Описание
Характеристики
Материалы
Особенности
- Цифровой интерфейс RS-485
- Встроенный уникальный датчик LINTEC с температурной компенсацией
- Высокофункциональный при установке микропроцессора
- Долговременная герметичность обеспечивается с помощью металлического уплотнения
- Используя металлический корпус и различные фильтры, можно добиться стабильной работы за счет снижения радиочастотных помех и помех электромагнитного поля.
Области применения газовых расходомеров
1. Производство полупроводников. Газовые расходомеры задействованы в следующих процессах:
- Сухое травление
- Очистка пластин
- Напыление пластин
- Химическое парофазное осаждение
- Ионная имплантация
2. Производство плоскопанельных дисплеев и солнечных батарей:
- Сухое травление
- Очистка пластин
- Химическое парофазное осаждение
- Физическое осаждение из паровой фазы
- Побочные продукты
3. Автомобилестроение:
- Оценка выхлопных газов
- Производство топливных элементов
Технические характеристики
| Модель | MM-3102L | MM-3202L | MM-3252L | MM-3452L | MM-3462L | MM-3472L | |
| Расход в азоте (полный диапазон) | 5 ～ 5,000 см3/мин | ～ 20 л/мин | ～ 50 л/мин | ～ 50 л/мин | ～ 150 л/мин | ～ 250 л/мин | |
| Точность | 100% ～ 25% ±1.0% 25%～ 2% ±0.25% (полная шкала) |
100%～ 35% ±1.0% 35%～ 2% ±0.35% (полная шкала) |
±2.0% (полная шкала). | ||||
| Воспроизводимость | ±0.2% F.S. | ±0.5% F.S. | ±1.0 % F.S. | ||||
| Аналоговый выходной сигнал скорости потока | 0～ 5 Впст | ||||||
| Рабочее дифференциальное давление | 10-400 кПа | ||||||
| Давление выдерживания | 1МПа(G) | ||||||
| Температурный коэффициент | Ноль | ±0.02% / ℃ | ±0.1% / ℃ | ||||
| Шаг | ±0.02% / ℃ | ±0.04% / ℃ | ±0.08% / ℃ | ±0.1% / ℃ | |||
| Рабочая температура | 5 ～ 50℃ 0 ～ 80% относительная влажность | ||||||
| Герметичность | 1×10-11Па・м3 / с He | ||||||
| Материалы, подверженные воздействию газа | SUS316L, тефлон, витон ® | ||||||
| Материал уплотнения | Au | ||||||
| Требования к питанию | +15Впст ±3% 100мА, -15 Впст ±3% 50 мА | ||||||
| Положение монтажа | Любое | ||||||
| Аналоговый разъем | Dsub 9 контактов | ||||||
| Цифровой интерфейс | RJ45/RS-485 | ||||||
| Вес | 1.0 кг | 1.4 кг | |||||