Цифровой регулятор массового расхода высокой производительности

Цифровой регулятор массового расхода высокой производительности Серия MМ-3000L

  • Аналоговый выходной сигнал скорости потока: 0～ 5 Впст
  • Рабочее дифференциальное давление : 10-400 кПа
  • Рабочая температура : 5 ～ 50℃　0 ～ 80% относительная влажность
  • Давление выдерживания: 1МПа(G)

Производитель LINTEC

Узнайте цену

Особенности

  • Цифровой интерфейс RS-485
  • Встроенный уникальный датчик LINTEC с температурной компенсацией
  • Высокофункциональный при установке микропроцессора
  • Долговременная герметичность обеспечивается с помощью металлического уплотнения
  • Используя металлический корпус и различные фильтры, можно добиться стабильной работы за счет снижения радиочастотных помех и помех электромагнитного поля.

Области применения газовых расходомеров

1. Производство полупроводников. Газовые расходомеры задействованы в следующих процессах:

  • Сухое травление
  • Очистка пластин
  • Напыление пластин
  • Химическое парофазное осаждение
  • Ионная имплантация

2. Производство плоскопанельных дисплеев и солнечных батарей: 

  • Сухое травление
  • Очистка пластин
  • Химическое парофазное осаждение 
  • Физическое осаждение из паровой фазы
  • Побочные продукты

3. Автомобилестроение:

  • Оценка выхлопных газов
  • Производство топливных элементов

Технические характеристики

Модель MM-3102L MM-3202L MM-3252L MM-3452L MM-3462L MM-3472L
Расход в азоте (полный диапазон) 5 ～ 5,000 см3/мин ～ 20 л/мин ～ 50 л/мин ～ 50 л/мин ～  150 л/мин ～ 250 л/мин
Точность 100% ～ 25%  ±1.0%
25%～ 2% ±0.25% (полная шкала)		 100%～ 35%  ±1.0%  
35%～ 2%  ±0.35% (полная шкала)		 ±2.0% (полная шкала).
Воспроизводимость ±0.2% F.S. ±0.5% F.S. ±1.0 % F.S.
Аналоговый выходной сигнал скорости потока 0～ 5 Впст
Рабочее дифференциальное давление 10-400 кПа
Давление выдерживания 1МПа(G)
Температурный коэффициент Ноль ±0.02% / ℃ ±0.1% / ℃
Шаг ±0.02% / ℃ ±0.04% / ℃ ±0.08% / ℃ ±0.1% / ℃
Рабочая температура 5 ～ 50℃　0 ～ 80% относительная влажность
Герметичность 1×10-11Па・м3 / с He
Материалы, подверженные воздействию газа SUS316L, тефлон, витон ®
Материал уплотнения Au
Требования к питанию +15Впст ±3% 100мА, -15 Впст ±3% 50 мА
Положение монтажа Любое
Аналоговый разъем Dsub 9 контактов
Цифровой интерфейс RJ45/RS-485
Вес 1.0 кг 1.4 кг
В каталог