Высокотемпературный регулятор массового расхода Серия MM-3000L-TN
- Аналоговый выходной сигнал скорости потока : 0～ 5 Впст
- Рабочее дифференциальное давление: 10-400 кПа
- Рабочая температура: 80 ～ 100℃ 0 ～ 80% относительная влажность; 100 ～ 120℃ 0 ～ 80% относительная влажность
- Давление выдерживания: 400 кПа
Производитель LINTEC
Описание
Характеристики
Материалы
Особенности
Регулятор массового расхода с максимальной рабочей температурой до 120 °С
- Максимальная рабочая температура 120 ℃
- Цифровой интерфейс RS-485
- Встроенный датчик LINTEC с температурной компенсацией окружающей среды
- Высокофункциональный при установке микропроцессора
- Долговременная герметичность обеспечивается с помощью металлического уплотнения
- Используя металлический корпус и различные фильтры, можно добиться стабильной работы за счет снижения радиочастотных помех и помех электромагнитного поля
Области применения газовых расходомеров
1. Производство полупроводников. Газовые расходомеры задействованы в следующих процессах:
- Сухое травление
- Очистка пластин
- Напыление пластин
- Химическое парофазное осаждение
- Ионная имплантация
2. Производство плоскопанельных дисплеев и солнечных батарей:
- Сухое травление
- Очистка пластин
- Химическое парофазное осаждение
- Физическое осаждение из паровой фазы
- Побочные продукты
3. Автомобилестроение:
- Оценка выхлопных газов
- Производство топливных элементов
Технические характеристики
| Модель | MM-3102L-TN | MM-3202L-TN |
| Расход в азоте (полный диапазон) | 10 ～ 5,000 см3/мин | ～ 25 л/мин |
| Точность | ±1.0% | |
| Воспроизводимость | ±0.2% F.S. | |
| Аналоговый выходной сигнал скорости потока | 0～ 5 Впст | |
| Рабочее дифференциальное давление | 10 ～ 400кПa | |
| Давление выдерживания | 1МПа(G) | |
| Рабочая температура | 80 ～ 100℃ 0 ～ 80% относительная влажность 100 ～ 120℃ 0 ～ 80% относительная влажность |
|
| Температура спекания | 150 °С | |
| Герметичность | 1×10-11Па・м3 / с He | |
| Материалы, подверженные воздействию газа | SUS316L | |
| Материал уплотнения | Au | |
| Требования к питанию | +15Впст ±3% 100мА, -15 Впст ±3% 200 мА | |
| Положение монтажа | Любое | |
| Аналоговый разъем | Dsub 9 контактов | |
| Цифровой интерфейс | Модульный разъем RJ45/RS-485 | |
| Вес | 1.2 кг | |