Регулятор массового расхода для низкого перепада давления

Регулятор массового расхода для низкого перепада давления Серия MC-3000S

  • Диапазон регулирования расхода: 2 ～ 100%
  • Режим работы клапана: нормально открытый, нормально закрытый
  • Время отклика: 2 с
  • Давление выдерживания: 1МПа(G)
  • Привод регулирующего клапана: пьезоэлектрический привод

Производитель LINTEC

Узнайте цену

Особенности

Регулятор массового расхода, оснащенный оригинальным устройством LINTEC для измерения низкого перепада давления для работы в условиях низкого перепада давления

  • Регулятор массового расхода для низкого перепада давления
  • В дополнение к AsH3 и PH3 для ионного легирования, регулятор применяется к твердому материалу и сжиженному газу без нагрева
  • Цифровой интерфейс RS-485
  • Встроенный датчик LINTEC с температурной компенсацией окружающей среды
  • Высокофункциональный при установке микропроцессора
  • Мембранный клапан с небольшим мертвым объемом
  • Высокоскоростной и высокопроизводительный пьезоэлектрический привод
  • Долговременная герметичность обеспечивается с помощью металлического уплотнения
  • Используя металлический корпус и различные фильтры, можно добиться стабильной работы за счет снижения радиочастотных помех и помех электромагнитного поля.

Области применения газовых расходомеров

1. Производство полупроводников. Газовые расходомеры задействованы в следующих процессах:

  • Сухое травление
  • Очистка пластин
  • Напыление пластин
  • Химическое парофазное осаждение
  • Ионная имплантация

2. Производство плоскопанельных дисплеев и солнечных батарей: 

  • Сухое травление
  • Очистка пластин
  • Химическое парофазное осаждение 
  • Физическое осаждение из паровой фазы
  • Побочные продукты

3. Автомобилестроение:

  • Оценка выхлопных газов
  • Производство топливных элементов

Технические характеристики

Модель MC-3102S  
Расход в азоте (полный диапазон) 2 ～ 10 см3/мин ～ 20 л/мин ～ 30 л/мин
Диапазон регулирования расхода 2 ～ 100%
Режим работы клапана Нормально открытый, нормально закрытый
Точность   ±1.0%
Воспроизводимость ±0.2% F.S.
Время отклика 2 с
Аналоговый сигнал настройки скорости потока 0～ 5 Впст
Аналоговый выходной сигнал скорости потока 0～ 5 Впст
Рабочее дифференциальное давление 8×102Пa ～ 1.33×106Пa 1.07×103Пa ～ 1.33×105Пa 1.33×103Пa ～ 1.33×105Пa
Давление выдерживания 1МПа(G)
Температурный коэффициент Ноль ±0.02% / ℃
Шаг ±0.02% / ℃ ±0.04% / ℃ ±0.08% / ℃
Рабочая температура 5 ～ 50℃　0 ～ 80% относительная влажность
Герметичность 1×10-11Па・м3 / с He
Материалы, подверженные воздействию газа SUS316L, ПТФХЭ
Материал уплотнения Au
Требования к питанию +15Впст ±3% 100мА, -15 Впст ±3% 50 мА
Положение монтажа Указывается при размещении заказа
Аналоговый разъем Dsub 9 контактов
Цифровой интерфейс Модульный разъем RJ45/RS-485
Привод регулирующего клапана Пьезоэлектрический привод
Вес 1.0 кг
В каталог