Компактный жидкостной испаритель с электромагнитным приводом Серия VU-430 А
- Диапазон регулирования расхода: 10 ～ 100 % (полная шкала)
- Рабочий режим клапана: нормально закрытый
- Привод регулирующего клапана: пьезоэлектрический привод
- Рабочее дифференциальное давление: 50 ～ 300 кПа
Производитель LINTEC
Описание
Характеристики
Материалы
Описание
Серия VU-430A: Компактный испаритель с электромагнитным приводом
Эффективный контроль испарения жидкости при использовании с серией LM-3000L
Особенности
- Высокоточный контроль испарения жидкости с помощью электромагнитного привода
- Компактная конструкция
- С максимальной рабочей температурой до 200 ℃. Данный прибор наиболее подходит для использования жидкости с низким давлением паров и низким расходом, такой как материалы с низкой и высокой диэлектрической проницаемостью и различные металлы
- Быстрое испарение жидкости, распыляемой при использовании сопла с двойным отверстием в камере испарения, путем радиационного нагрева
- Долговременная герметичность обеспечивается с помощью металлического уплотнения
Технические характеристики
| Модель | VU-0430N | ||
| Максимальная скорость испарения | TEOS | 10 г/мин | |
| Н2О | 1.0 г/мин | ||
| Диапазон регулирования расхода | 10 ～ 100 % (полная шкала) | ||
| Расход газа-носителя | VU-0430N-03 | 0.05 – 1.0 л/мин | |
| VU-0430N-02 | 1-2 л/мин | ||
| VU-0430N-01 | 2-4 л/мин | ||
| Рабочее дифференциальное давление | 50 ～ 300 кПа | ||
| Давление выдерживания | 1МПа(G) | ||
| Рабочий режим клапана | Нормально закрытый | ||
| Макс. потребление энергии | VU-0430N-L1 | 120 В, 180 Вт | |
| VU-0430N-L2 | 240 В, 625 Вт | ||
| Термопара | К типа, 2 шт | ||
| Рекомендуемый метод контроля температуры | ПИД | ||
| Макс. рабочая температура | 200 °С | ||
| Термодатчик | 230 °С ± 10 °С открытый | ||
| Герметичность | 1×10-11Па・м3 / с He | ||
| Смачиваемые материалы | SUS316L, Ni-Co, полиамид | ||
| Материал уплотнения | Au | ||
| Привод регулирующего клапана | Пьезоэлектрический привод | ||
| Рабочее давление пневмопривода (тип NC) | 500-600 кПа | ||
| Положение монтажа | Вертикальное направление вверх впускного газа-носителя и привода | ||
| Вес | 2.2 кг | ||