Газовый испаритель без газа-носителя Серия VU-3000
- Диапазон регулирования расхода: 10-100 % (полной шкалы)
- Рабочий режим клапана: нормально закрытый
- Максимальная скорость испарения : 2 г/мин
- Рабочее дифференциальное давление: 250 ～ 300 кПа
Производитель LINTEC
Описание
Характеристики
Описание
Испарение несокльких прекурсоров без газа-носителя.
Эффективный контроль испарения жидкости при использовании с серией LC-3000L
Особенности
- Возможность одновременного испарения нескольких жидких материалов при использовании в сочетании с измерителями массового расхода жидкости (и серией CV) или регулятором жидкости.
- Доступно для различных условий без газа-носителя
- Максимальное испаряющееся количество H2O 2 г/мин гарантировано
Технические характеристики
| Модель | VU-3000 | |
| Максимальная скорость испарения | Н2О | 2 г/мин |
| Диапазон регулирования расхода | 10-100 % (полной шкалы) | |
| Рабочее дифференциальное давление | 250 ～ 300 кПа | |
| Давление выдерживания | 1МПа(G) | |
| Рабочий режим клапана | Нормально закрытый | |
| Макс. потребление энергии | 120 В | Внутренний блок нагревателя: 625 Вт Внешний блок нагревателя: 417 Вт |
| 240 В | Внутренний блок нагревателя: 900 Вт Внешний блок нагревателя: 600 Вт |
|
| Термопара | К типа, 2 шт | |
| Рекомендуемый метод контроля температуры | ПИД | |
| Макс. рабочая температура | 200 °С | |
| Термодатчик | 270 °С ± 10 °С, открытый | |
| Герметичность | 5×10-6 Па・м3 / с He | |
| Смачиваемые материалы | SUS316L, Karlez4079, Au | |
| Положение монтажа | Вверх для пневмопривода и горизонтальный для трубопровода | |
| Вес | 5 кг | |