Методы измерения трехмерных профилометров

Метод

Разрешение по высоте

Преимущества

Недостатки

Оптическая триангуляция

< 1 мкм

  • Простота использования
  • Широкий диапазон сканирования
  • Большое рабочее расстояние
  • Низкая воспроизводимость и точность измерений
  • Измерение зеркальных и прозрачных объектов невозможно
  • Низкое горизонтальное разрешение
  • Сложность измерения шероховатости

Лазерная конфокальная микроскопия

< 10 нм

  • Возможность получения цветного изображения
  • Простота получения двумерного изображения
  • Измерения с большим увеличением
  • Разрешение зависит от степени увеличения
  • Ограниченный срок службы лазера
  • Ограничение на измерение очень крупных образцов

Интерферометрия

VSI/VEI

< 0.5 нм

  • Вертикальное разрешение не зависит от увеличения
  • Превосходное разрешение по высоте
  • Быстрота измерения поверхности
  • Высокая точность измерений
  • Сложность использования объективов с увеличением более 100X
  • Сложность получения двумерного изображения поверхности

VPI

< 0.1 нм

  • Вертикальное разрешение не зависит от увеличения
  • Превосходное разрешение по высоте
  • В основном используется для измерения отражающих поверхностей
  • Высокая скорость измерений
  • Невозможно измерять структуру с размерами более 300 нм

Атомно-силовая микроскопия

< 0.01 нм

  • Разрешение по всем осям составляет доли ангстрем
  • Возможность измерения тонких наноструктур
  • Измерение различных свойств поверхности
  • Чем выше скорость сканирования, тем хуже разрешение
  • Сильное влияние окружающей среды на результаты измерений

Сканирующие интерферометры белого света:

  • Разрешение по высоте 0.1 нм
  • Вертикальное разрешение: VSI/VEI < 0.5 нм, VPI < 0.1 нм
  • Неразрушающий контроль и отсутствие пробоподготовки
  • Возможность измерения различных типов образцов: прозрачные, полупрозрачные, непрозрачные и т.п.
Запрос цены

Атомно-силовые микроскопы:

  • Анализ дефектов полупроводников
  • Сканирующий диапазон: 100 мкм×100 мкм (50 мкм×50 мкм, 25 мкм×25 мкм)
  • Бесконтактный режим True Non-Contact
  • Z-детектор с низким уровнем шума
  • Автоматизированный интерфейс
Запрос цены
  • Самый оснащенный и универсальный АСМ
  • Сканирующий диапазон: 50 мкм × 50 мкм (10 мкм × 10 мкм, 100 мкм × 100 мкм)
  • Бесконтактный режим True Non-Contact
  • Длительный срок службы зонда, высочайшее разрешение
  • Точное латеральное сканирование XY в режиме «Crosstalk Elimination» (устранение помех)
  • Точная топография АСМ с применением малошумного Z-детектора
Запрос цены
  • Двумерный консольный сканер с диапазоном сканирования 100 мкм × 100 мкм
  • Консольный Z-сканер высокого усилия
  • Удобное крепление головки SLD по направляющей
  • Множественный зажим
  • Моторизированный предметный столик XY
Запрос цены
  • Двумерный консольный сканер с диапазоном сканирования 10 мкм × 10 мкм
  • Консольный Z-сканер высокого усилия
  • Удобное крепление головки SLD по направляющей
  • Удобный держатель образца
  • Предметный столик XY с ручным управлением
Запрос цены
  • Изучение биоматериалов
  • Диапазон сканирования: обычно 100 мкм × 100 мкм
  • Полость для поддержания клетки в живом состоянии
  • Уникально объединяет СИПМ и АСМ с инвертированным оптическим микроскопом (ИОМ) на одной платформе
  • Надежное и повторяемое получение наноизображения
Запрос цены
  • Анализ отказов, обнаружение дефектов
  • Сканирование в условиях высокого вакуума
  • Сканер XY: 50 × 50 мкм Z: 15 мкм
  • Высокая чувствительность и разрешение измерений
Запрос цены
  • Измерение электрических, магнитных, температурных и механических свойств в нанометровом масштабе
  • Метод сканирования на основе микропипеток
  • Диапазон сканирования в плоскости XY: 100 × 100 мкм
  • Доступно сканирование АСМ головкой или SICM модулем
  • Различные режимы измерения: бесконтактный режим, полуконтактный режим, PinPoint режим и т.д.
Запрос цены

Лазерный конфокальный микроскоп:

  • Неразрушающий оптический 3D-контроль с высоким разрешением
  • Получение конфокального изображения в реальном времени
  • Одновременная конфокальная микроскопия и микроскопия белого света
  • Автоматический поиск усиления для тонкой фокусировки
  • Различное оптическое увеличение для наблюдаемой области
Запрос цены