Методы измерения трехмерных профилометров
|
Метод |
Разрешение по высоте |
Преимущества |
Недостатки |
|
|
Оптическая триангуляция |
< 1 мкм |
|
|
|
|
Лазерная конфокальная микроскопия |
< 10 нм |
|
|
|
|
Интерферометрия |
VSI/VEI |
< 0.5 нм |
|
|
|
VPI |
< 0.1 нм |
|
|
|
|
Атомно-силовая микроскопия |
< 0.01 нм |
|
|
|
Сканирующие интерферометры белого света:
- Разрешение по высоте 0.1 нм
- Вертикальное разрешение: VSI/VEI < 0.5 нм, VPI < 0.1 нм
- Неразрушающий контроль и отсутствие пробоподготовки
- Возможность измерения различных типов образцов: прозрачные, полупрозрачные, непрозрачные и т.п.
Атомно-силовые микроскопы:
Высокоточный атомно-силовой микроскоп Park NX20 для анализа дефектов и исследования крупных образцов
- Анализ дефектов полупроводников
- Сканирующий диапазон: 100 мкм×100 мкм (50 мкм×50 мкм, 25 мкм×25 мкм)
- Бесконтактный режим True Non-Contact
- Z-детектор с низким уровнем шума
- Автоматизированный интерфейс
- Самый оснащенный и универсальный АСМ
- Сканирующий диапазон: 50 мкм × 50 мкм (10 мкм × 10 мкм, 100 мкм × 100 мкм)
- Бесконтактный режим True Non-Contact
- Длительный срок службы зонда, высочайшее разрешение
- Точное латеральное сканирование XY в режиме «Crosstalk Elimination» (устранение помех)
- Точная топография АСМ с применением малошумного Z-детектора
- Двумерный консольный сканер с диапазоном сканирования 100 мкм × 100 мкм
- Консольный Z-сканер высокого усилия
- Удобное крепление головки SLD по направляющей
- Множественный зажим
- Моторизированный предметный столик XY
- Двумерный консольный сканер с диапазоном сканирования 10 мкм × 10 мкм
- Консольный Z-сканер высокого усилия
- Удобное крепление головки SLD по направляющей
- Удобный держатель образца
- Предметный столик XY с ручным управлением
- Изучение биоматериалов
- Диапазон сканирования: обычно 100 мкм × 100 мкм
- Полость для поддержания клетки в живом состоянии
- Уникально объединяет СИПМ и АСМ с инвертированным оптическим микроскопом (ИОМ) на одной платформе
- Надежное и повторяемое получение наноизображения
- Анализ отказов, обнаружение дефектов
- Сканирование в условиях высокого вакуума
- Сканер XY: 50 × 50 мкм Z: 15 мкм
- Высокая чувствительность и разрешение измерений
- Измерение электрических, магнитных, температурных и механических свойств в нанометровом масштабе
- Метод сканирования на основе микропипеток
- Диапазон сканирования в плоскости XY: 100 × 100 мкм
- Доступно сканирование АСМ головкой или SICM модулем
- Различные режимы измерения: бесконтактный режим, полуконтактный режим, PinPoint режим и т.д.
Лазерный конфокальный микроскоп:
- Неразрушающий оптический 3D-контроль с высоким разрешением
- Получение конфокального изображения в реальном времени
- Одновременная конфокальная микроскопия и микроскопия белого света
- Автоматический поиск усиления для тонкой фокусировки
- Различное оптическое увеличение для наблюдаемой области