Атомно-силовые микроскопы (Atomic force microscopes) Park Systems

Атомно-силовые микроскопы (AFM) компании Park Systems (Южная Корея).
Вид каталога:
  • Анализ дефектов полупроводников
  • Сканирующий диапазон: 100 мкм×100 мкм (50 мкм×50 мкм, 25 мкм×25 мкм)
  • Бесконтактный режим True Non-Contact
  • Z-детектор с низким уровнем шума
  • Автоматизированный интерфейс
  • Самый оснащенный и универсальный АСМ
  • Сканирующий диапазон: 50 мкм × 50 мкм (10 мкм × 10 мкм, 100 мкм × 100 мкм)
  • Бесконтактный режим True Non-Contact
  • Длительный срок службы зонда, высочайшее разрешение
  • Точное латеральное сканирование XY в режиме «Crosstalk Elimination» (устранение помех)
  • Точная топография АСМ с применением малошумного Z-детектора
  • Функция устранения перекрестных помех
  • Лучшая в отрасли скорость и линейность Z-сервопривода
  • Плоское ортогональное сканирование по XY без изгиба сканера
  • Автоматическое считывание кантилеверов
  • Автоматическая смена кантилеверов
  • Автоматическая настройка лазера
  • Бесконтактный режим анализа True Non-Contact
  • Двумерный консольный сканер с диапазоном сканирования 100 мкм × 100 мкм
  • Консольный Z-сканер высокого усилия
  • Удобное крепление головки SLD по направляющей
  • Множественный зажим
  • Моторизированный предметный столик XY
  • Двумерный консольный сканер с диапазоном сканирования 10 мкм × 10 мкм
  • Консольный Z-сканер высокого усилия
  • Удобное крепление головки SLD по направляющей
  • Удобный держатель образца
  • Предметный столик XY с ручным управлением
  • Анализ отказов, обнаружение дефектов
  • Сканирование в условиях высокого вакуума
  • Сканер XY: 50 × 50 мкм Z: 15 мкм
  • Высокая чувствительность и разрешение измерений
  • Измерение электрических, магнитных, температурных и механических свойств в нанометровом масштабе
  • Метод сканирования на основе микропипеток
  • Диапазон сканирования в плоскости XY: 100 × 100 мкм
  • Доступно сканирование АСМ головкой или SICM модулем
  • Различные режимы измерения: бесконтактный режим, полуконтактный режим, PinPoint режим и т.д.

Промышленные микроскопы

Вид каталога:
  • Идентификация нанодефектов
  • Высокая производительность
  • Измерение шероховатости поверхности в доли ангстрем
  • Автоматический обзор дефектов
  • Точная обратная связь
  • Автоматическое сканирование и идентификация дефектов
  • Автоматическое позиционирование, не требующее предварительной калибровки
  • Специально для применения в области полупроводников
  • Производительность всей системы до 1000%
  • Для точной метрологии  ползунков для жестких дисков прямо на производстве
  • Автоматизация для быстрых, точных и повторяющихся PTR измерений
  • Высокая пропускная способность без необходимости в контрольных измерениях
  • Малошумные датчики положения XYZ
  • Полностью автоматический АСМ
  • Измерение выступающих элементов профилей, получение изображений боковых стенок с высоким разрешением, измерение критических углов
  • Неразрушающее измерение мягких поверхностей фоторезисторов
  • Система раздельного сканирования в латеральной плоскости XY и по оси Z и поворотным Z-сканером
  • Полностью автоматизированный АСМ
  • Разработан для контроля качества в лабораториях
  • Позволяет полностью исследовать всю поверхность подложки
  • Подложки диаметром до 300 мм
  • Без необходимости перемещения подложки во время сканирования

Компания Park Systems производит передовые решения в области атомно-силовой микроскопии, начиная от простых систем вплоть до сложных исследовательских комплексов и систем АСМ микроскопии для промышленных и научных применений.

Представленные зондовые микроскопы являются высокоточными системами для исследования не только поверхности образца, но и целого спектра свойств материала: механических, магнитных, электрических.

Новейшее программное обеспечение SmartScan™ делает процесс работы на атомно-силовом микроскопе простым и понятным, за счёт наличия алгоритмов автоматизации процесса сканирования.