Высоковакуумный атомно-силовой микроскоп для анализа отказов Park NX-Hivac
- Анализ отказов, обнаружение дефектов
- Сканирование в условиях высокого вакуума
- Сканер XY: 50 × 50 мкм Z: 15 мкм
- Высокая чувствительность и разрешение измерений
Производитель Park Systems
Особенности
Park NX-Hivac позволяет инженерам, работающим в области исследования анализа отказов, улучшить чувствительность и разрешение их измерений с помощью высоковакуумной сканирующей микроскопии сопротивления растекания (SSRM). Поскольку сканирование в условиях высокого вакуума обеспечивает лучшую точность, повторяемость и в наименьшей мере влияет на износ кантилевера и степень повреждения образца, чем в условиях окружающего атмосферного воздуха или при подаче сухого азота, пользователи могут измерять широкий спектр концентраций примесей и отклики в сферах анализа отказов.
| Выполняя SSRM измерения в условиях высокого вакуума, можно уменьшить требуемую силу взаимодействия в системе «кантилевер - образец», что в значительной степени снижает механические повреждения как для первого, так и для второго компонентов системы. Таким образом, увеличивается срок службы каждого кантилевера, делая каждое сканирование более дешевым и более удобным, а также может предоставлять более точные результаты измерений за счет улучшения пространственного разрешения и отношения сигнал/шум. Эти особенности делают NX-Hivac вместе с режимом SSRM отличным выбором для применений в областях анализа отказов и обнаружения дефектов, увеличивая пропускную способность, снижая общую стоимость и улучшая точность. | |
 |
 |
Схема высоковакуумного атомно-силового микроскопа для анализа отказов
Park Hivac Manager
|
NX-Hivac auto vacuum контролирующее ПО Высокий вакуум поддерживается с помощью Hivac Manager. Откачка до оптимального состояния и процесс вентилирования с легкостью контролируются нажатием всего одной кнопки. Каждый этап сопровождается цветовыми и схематическими изменениями, поэтому Вам не нужно будет беспокоиться о соответствии условий в вакууме после нажатия данной кнопки. Данное ПО обеспечивает простоту использования АСМ и его лучшую производительность. |
|
Расширенные возможности
NX-Hivac имеет набор инструментов, которые минимизируют требуемое участие конечного пользователя. Это означает, что Вы можете производить измерения с большей скоростью и улучшить пропускную способность.
|
StepScan автоматизация с моторизированным столиком Данная функция дает возможность пользователю запрограммировать прибор таким образом, чтобы быстро и легко получать изображение сразу нескольких областей. NX-Hivac позволяет Вам производить измерение всего за пять шагов:
Данный алгоритм улучшает производительность и сокращает необходимое пользователю время подготовки для измерений до минимума. |
 |
Моторизированное выравнивание лазера
|
Данная функция позволяет пользователю легко продолжить автоматизированные процедуры измерения без лишнего вмешательства. Благодаря нашему передовому преднастроенному держателю кантилевера лазерный луч фокусируется прямо на вновь устанавливаемый кантилевер. Лазерный луч затем юстируется по осям X и Y с помощью специальных ручек. |
|
Увеличение точности и производительности
NX-Hivac является не только самым точным и высокопроизводительным АСМ в мире, но также одним из самых простых и удобных в использовании при исследовании дефектов. С данным АСМ Вы сможете увеличить Вашу производительность и Ваши результаты будут одними из лучших.
|
XY и Z-сканеры с замкнутым контуром С двумя независимыми гибкими XY и Z-сканерами с замкнутым контуром, Вы можете быть уверены, что Ваши результаты будут чрезвычайно точными. NX-Hivac обеспечивает плоскостное и вертикальное сканирование с низким остаточным изгибом, имея при этом отклонение от плоскости сканирования во всем диапазоне менее 1 нм. Также данный АСМ имеет диапазон сканирования 15 мкм вдоль оси Z с нелинейным смещением менее 0.5%. Данные особенности дают возможность получать точные 2D- и 3D-изображения без дальнейшей необходимости их компьютерной обработки. |
 |
|
XYZ сенсоры с низким уровнем шума NX-Hivac оснащен ведущим в своей области малошумящим Z-детектором, который может очень точно измерять рельеф образца, а XY-сканер с замкнутым контуром с низким уровнем шума минимизирует разрывы при сканировании в направлениях назад и вперед до 0.15% от диапазона сканирования. |
24-битная цифровая электроника |
Уменьшает потерю времени и увеличивает точность получаемых данных в NX-Hivac. Наши контроллеры являются 24-битными высокоскоростными устройствами, которые предоставляют пользователю возможность получать широкий спектр изображений, включая бесконтактный режим True Non-Contact. Данный контроллер, с низким уровнем шума и высокой скоростью обработки, является идеальным для точных измерений напряжения и тока, а также получения изображений в наномасштабах. Встроенная электроника также оснащена блоком цифровой обработки сигнала, что позволяет пользователю с легкостью анализировать проводимые измерения и получаемые изображения.
Видео-обзор Park NX-Hivac
Технические характеристики
| Сканер | Оптика |
| XY: 50 × 50 мкм (50 × 50 мкм - опция) Z: 15 мкм |
Объектив: 10Х ПЗС: 5 мегапикселей |
| Предметный столик | Габаритные размеры |
| Диапазон перемещений XY: 22 × 22 мм Размеры образца: 50 × 50 мм, высота до 20 мм |
Вакуумная камера (внутренняя): 300 × 420 × 320 мм Вакуумная камера (внешняя): 800 × 950 × 730 мм |
| Программное обеспечение | Электроника |
| SmartScan: ПО для Park АСМ XEI: ПО для обработки данных Hivac Manager: Auto vacuum контролирующее ПО |
АЦП: 18 каналов; 4 высокоскоростных АЦП-канала (50 MSPS); 24-битный АЦП для X, Y, Z-сенсоров ЦАП: 12 каналов; 2 высокоскоростных ЦАП-канала (50 MSPS); 20-битный ЦАП для X, Y, Z-сенсоров; 3 канала со встроенным усилителем |
| Система высокого вакуумирования | |
| Вакуумирование: обычно менее 10-5 торр Скорость откачивания: достижение уровня 10-5 торр менее, чем за 5 минут |
|
- Скачать проспект Высоковакуумный атомно-силовой микроскоп для анализа отказов Park NX-Hivac
- Исследование различных образцов с помощью бесконтактного метода True Non-Contact на атомно-силовом микроскопе
- Преимущества высокого вакуума для электрической сканирующей микроскопии
- Измерение контактной разности потенциалов поверхности методом SKPM
- Преимущества высокого вакуума для электрической атомно-силовой микроскопии на примере NX-Hivac
- Анализ распределения носителей заряда в высоком вакууме с помощью сканирующей микроскопии сопротивления растеканию (SSRM) и сканирующей емкостной микроскопии (SCM)
- Улучшенный анализ электрических характеристик современных материалов в условиях высокого вакуума
- Фазовая автоматическая подстройка частоты для бесконтактной АСМ с частотной модуляцией на примере NX-Hivac
- Внутренняя электрическая характеризация двумерных дихалькогенидов переходных металлов с помощью сканирующей зондовой микроскопии
- Измерения поверхностного потенциала двумерных материалов в высоком вакууме
- Измерение электрических, магнитных, температурных и механических свойств в нанометровом масштабе
- Метод сканирования на основе микропипеток
- Диапазон сканирования в плоскости XY: 100 × 100 мкм
- Доступно сканирование АСМ головкой или SICM модулем
- Различные режимы измерения: бесконтактный режим, полуконтактный режим, PinPoint режим и т.д.
- Функция устранения перекрестных помех
- Лучшая в отрасли скорость и линейность Z-сервопривода
- Плоское ортогональное сканирование по XY без изгиба сканера
- Автоматическое считывание кантилеверов
- Автоматическая смена кантилеверов
- Автоматическая настройка лазера
- Бесконтактный режим анализа True Non-Contact
- Самый оснащенный и универсальный АСМ
- Сканирующий диапазон: 50 мкм × 50 мкм (10 мкм × 10 мкм, 100 мкм × 100 мкм)
- Бесконтактный режим True Non-Contact
- Длительный срок службы зонда, высочайшее разрешение
- Точное латеральное сканирование XY в режиме «Crosstalk Elimination» (устранение помех)
- Точная топография АСМ с применением малошумного Z-детектора
