Универсальная компактная установка вакуумного напыления Elato-Ш
- Высоковакуумный затвор между камер
- Шлюзовая камера с системой вращения
- «Сухой» механический насос
- Откачка камер в автоматическом режиме
Производитель Изовак
Особенности
Установка вакуумного напыления Elato выполнена в виде моноблока и состоит из поста вакуумного, установленного на металлическом каркасе и шкафа электротехнического.
Вакуумный пост в свою очередь состоит из технологической камеры с установленной в ней оснасткой внутрикамерной, камеры шлюзовой с установленной на ней системой вращения подложек. Камеры разделены затвором. В камере происходит подготовка подложек к нанесению покрытия и последующее напыление в соответствии с технологическим маршрутом. Камера шлюзовая с системой вращения подложек служит для возможности смены образцов без развакуумирования камеры. В шкафу электротехническом размещены блоки управления и питания.
Для высоковакуумной откачки камер применяется турбомолекулярные насосы. Для предварительной откачки камер и обеспечения поддержки турбомолекулярных насосов используется «сухой» механический насос. Откачка камер на рабочий вакуум происходит в автоматическом режиме.
Загрузка подложкодержателя с подложками и их замена осуществляется оператором вручную при поднятой системе вращения подложек.
Технические характеристики
| Объем камеры вакуумной технологической, м3 | 0,065 |
| Предельное остаточное давление в чистой камере без оснастки, не выше, Па | 5 х10-4 |
| Время достижения остаточного давления 5 10-4 Па, не более, мин | 30 |
| Температура прогрева шлюзовой камеры не менее, °С | 400 |
| Точность поддержания температуры на подложке ,°С | ± 10 |
| Диапазон регулировки расстояния от испарителя до образца, мм | 250…350 |
| Неравномерность по толщине напыляемого слоя на подложку диаметром 76 мм (при регулировке расстояния от испарителя до образца) %; | ±(1,5…5) |
| Масса,не более, кг, | 1200 |
| Габариты (ДхШхВ), не более ,мм | 2350х2090х2400 |
| Потребляемая мощность, не более, кВт | 30 |