Высокоточный атомно-силовой микроскоп Park NX20 для анализа дефектов и исследования крупных образцов

Высокоточный атомно-силовой микроскоп Park NX20 – самый лучший инструмент в нанометрологии для анализа дефектов и исследования крупных образцов.

Идеальный выбор для анализа дефектов
Инженерам-исследователям, требуется получать надежные результаты и данные. Модель ParkNX20 имеет репутацию самого точного АСМ в мире для анализа крупных образцов, поэтому он получил широкое распространение в индустрии жестких дисков и полупроводников (статья "Исследование электрических свойств полупроводниковых устройств с помощью SCM и SKPM методов на атомно-силовом микроскопе").

Мощное решение для анализа дефектов
Данный АСМ оснащается компонентами уникальной конструкции, которые облегчают  использование микроскопа при поиске дефектов устройств и разработке креативных проектов. Непараллельная конструкция обеспечивает получение данных с высоким разрешением, которые позволяют Вам уделить основное внимание решению исследовательских задач. Режим True Non-Contact^ТМ делает работу зонда более четкой и продолжительной, это экономит Ваши время и деньги на  обслуживание.

Прост в работе даже для молодого специалиста
Park NX20 имеет самый удобный дизайн и автоматизированный интерфейс в индустрии, поэтому не потребуется тратить много времени и сил при работе с микроскопом и для обучения молодых специалистов. Это позволяет больше времени уделить исследовательской работе и решению сложных задач и обеспечивает своевременный и качественный анализ дефектов.

Предметный столик с функцией наклона для получения подробных изображений боковин (боковых стенок)
Инновационная конструкция NX20 позволяет рассмотреть боковину и поверхность образца, измерить угол наклона профилей. АСМ становится еще более универсальным инструментом для проведения исследовательских работ и глубокого изучение внутренних деталей образца.

• Угол наклона: 10,15 и 20 град.
• Размер образца: 20×20 мм
• Толщина образца: 2 мм

Режимы работы
С широким диапазоном режимов сканирования и модульной конструкцией ParkNX20 располагает мощностью и гибкостью, которые требуются для реализации любого Вашего проекта

Стандартное изображение

• True Non-Contact AFM (реальный бесконтактный режим АСМ)
• PinPoint™ AFM
• Basic Contact AFM (основной контактный режим АСМ)
• Латеральная силовая микроскопия (LFM)
• Фазовое изображение
• Прерывистый (полуконтактный) режим АСМ

Электрические свойства*

• Сканирующая емкостная микроскопия (SCM)
• Режим проводимости АСМ (ULCA и VECA)
• Электрическая силовая микроскопия (EFM)
• Пьезоэлектрическая силовая микроскопия (PFM)
• Сканирующая микроскопия с зондом Кельвина (SKPM/KPM)

Общие свойства*

• Магнитная силовая микроскопия (MFM)
• Сканирующая температурная микроскопия (SThM)
• Силовая спектроскопия F-D
• Сканирующая туннельная микроскопия (STM)
• Силовая модулирующая микроскопия (FMM)
• Наноидентификация
• Нанолитография
• Наноманипуляция

* Опционально

Лидирующий в отрасли малошумный Z-детектор

Наши атомно-силовые микроскопы оснащены самыми эффективными в отрасли Z-детекторами с низким уровнем шума. Уровень шума не превышает 0,02 нм в широком диапазоне частот. Это позволяет выполнять топографическое измерение образца с высокой точностью, без смещения краев и калибровки. Поэтому Park NX20 экономит время и выдает отличные данные.

Точное топографическое изображение образца, полученное с помощью Z-детектора с низким уровнем шума

Отсутствие артефактов в результате сканирования АСМ на топографическом изображении с низким уровнем шума и обратной связью

• Используется сигнал Z-детектора низкого уровня шума для получения топографического изображения
• Низкий уровень шума Z-детектора 0,02 нм в широком диапазоне частот
• Отсутствие смещения краев (начальных и замыкающих)
• Выполняется только одна калибровка на заводе

Наконечники (зонды) атомно-силовых микроскопов настолько хрупкие, что при их контакте с образцом происходит мгновенное снижение разрешения и качества изображения. При работе с мягкими и тонкими образцами зонд может повредить образец, это приведет к неточности измерений высоты профиля, повлечет рост затрат времени и денег. Уникальный режим True Non-Contact^ТМ АСМ существенно увеличивает разрешение и точность полученных данных при сохранении целостности самого образца.

Точная обратная связь за счет скоростного сервопривода оси Z в режиме True Non-Contact

Режим True Non-ContactTM	Полуконтактное изображение
Ниже износ зонда = длительное сканирование высокого разрешения Неразрушающий контакт зонд-образец = минимальное нарушение образца Невосприимчивость к параметрам измерений (при получении результатов)	Быстрый износ зонда = размытое сканирование низкого качества Разрушающее образец взаимодействие зонд-образец = нарушение и изменение поверхности образца Высокая зависимость от параметров измерений

Точные атомно-силовые микроскопы для FA и исследовательских лабораторий

• Измерение шероховатости поверхности для сред и подложек
• Анализ и получение обзорных изображений дефектов
• Режим электронного сканирования высокого разрешения
• Измерение боковых стенок при изучении трехмерных структур

Точные,  воспроизводимые измерения для повышения производительности измерений

• Бесконтактный режим для сохранения четкости зонда и обеспечения точности измерения шероховатости поверхности
• Быстрое получение изображений дефектов в бесконтактном режиме
• Система раздельного сканирования XY для измерения трехмерных структур
• Минимальный сдвиг и гистерезис с использованием компонентов, имеющих аналогичные температурные характеристики

Точная топография АСМ с применением малошумного Z-детектора

• Топографические измерения производятся самым современным промышленным Z-детектором с низким уровнем шума
• Технология True Sample Topography^TM без смещения краев или ошибок, вызванных изменением характеристик пьезоэлемента
• Точная регистрация высоты поверхности даже в процессе высокоскоростного сканирования
• Компактный латеральный сканер XY с синусоидальным алгоритмом сканирования при перемещении вперед
• Самый лучший критерий в отрасли - шаг сканирования при перемещении зонда вперед и назад не превышает 0,15%

Экономия затрат при работе в режиме True Non-Contact^ТМ

• Увеличенный более чем в 10 раз срок службы зонда при эксплуатации и отображении дефектов
• Минимальный износ зонда, гарантия получения высококачественного изображения с высоким разрешением в течение длительного периода времени
• Минимальное нарушение или изменение поверхности образца