Программное обеспечение для нанолитографии и наноманипуляций Park SmartLitho

Программное обеспечение для нанолитографии и наноманипуляций Park SmartLitho

  • Самое простое программное обеспечение для нанолитографии и наноманипуляций
  • Поддерживает векторный и растровый режимы
  • Работает на платформе SmartScan
  • Позволяет выполнять нанолитографию и наноманипуляции с материалами, электрическими и электронными устройствами, нанотехнологиями и другими областями исследований.

Производитель Park Systems

Особенности

Поддержка программой Park SmartScan с простым пользовательским интерфейсом для нанолитографии и наноманипуляций

SmartScan Auto выполняет все необходимые операции для создания изображений и самостоятельно определяет оптимальное качество изображения и скорость сканирования. SmartScan Auto стал возможен благодаря запатентованным технологиям компании Park Systems. Это экономит Ваше время, деньги и улучшает конечный результат.

Самое простое программное обеспечение для нанолитографии и наноманипуляций

Park SmartLitho при поддержке SmartScan – это платформа на основе АСМ, которая позволяет выполнять нанолитографию и наноманипуляции с материалами, электрическими и электронными устройствами, нанотехнологиями и другими областями исследований.

Программное обеспечение Park SmartLitho имеет множество режимов литографии, поддерживает как векторный, так и растровый режимы и работает на платформе SmartScan, которая имеет простой пользовательский интерфейс и предоставляет удобный автономный редактор чертежей.

нанолитография и наноманипуляции

Нанолитография                                          Наноманипуляции

Park SmartLitho представляет собой автономный удобный редактор чертежей

литографическое изображение

Литографическое изображение новогоднего шара на кремнии

Режим SmartLitho поддерживается основной программой Park SmartScan

литографическое изображение символа

Литографическое изображение символа Taegeuk на PZT

Другие приборы раздела «Атомно-силовые микроскопы Park Systems»Все приборы раздела
  • Измерение электрических, магнитных, температурных и механических свойств в нанометровом масштабе
  • Метод сканирования на основе микропипеток
  • Диапазон сканирования в плоскости XY: 100 × 100 мкм
  • Доступно сканирование АСМ головкой или SICM модулем
  • Различные режимы измерения: бесконтактный режим, полуконтактный режим, PinPoint режим и т.д.
  • Анализ отказов, обнаружение дефектов
  • Сканирование в условиях высокого вакуума
  • Сканер XY: 50 × 50 мкм Z: 15 мкм
  • Высокая чувствительность и разрешение измерений
  • Двумерный консольный сканер с диапазоном сканирования 10 мкм × 10 мкм
  • Консольный Z-сканер высокого усилия
  • Удобное крепление головки SLD по направляющей
  • Удобный держатель образца
  • Предметный столик XY с ручным управлением
  • Двумерный консольный сканер с диапазоном сканирования 100 мкм × 100 мкм
  • Консольный Z-сканер высокого усилия
  • Удобное крепление головки SLD по направляющей
  • Множественный зажим
  • Моторизированный предметный столик XY
  • Функция устранения перекрестных помех
  • Лучшая в отрасли скорость и линейность Z-сервопривода
  • Плоское ортогональное сканирование по XY без изгиба сканера
  • Автоматическое считывание кантилеверов
  • Автоматическая смена кантилеверов
  • Автоматическая настройка лазера
  • Бесконтактный режим анализа True Non-Contact
  • Самый оснащенный и универсальный АСМ
  • Сканирующий диапазон: 50 мкм × 50 мкм (10 мкм × 10 мкм, 100 мкм × 100 мкм)
  • Бесконтактный режим True Non-Contact
  • Длительный срок службы зонда, высочайшее разрешение
  • Точное латеральное сканирование XY в режиме «Crosstalk Elimination» (устранение помех)
  • Точная топография АСМ с применением малошумного Z-детектора