сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ)

Сканирующий атомно-силовой микроскоп Park NX10

  • Сканирующий зондовый микроскоп высокого разрешения
  • Самый оснащенный и универсальный АСМ
  • Сканирующий диапазон: 50 мкм × 50 мкм (10 мкм × 10 мкм, 100 мкм × 100 мкм)
  • Бесконтактный режим True Non-Contact
  • Длительный срок службы зонда, высочайшее разрешение
  • Точное латеральное сканирование XY в режиме «Crosstalk Elimination» (устранение помех)
  • Точная топография АСМ с применением малошумного Z-детектора

Производитель Park Systems

Особенности

Самый точный и простой в использовании атомно-силовой микроскоп

Достоверность данных
Сканирующий зондовый микроскоп NX10 позволяет получить данные, которые можно использовать, тиражировать и публиковать благодаря нано разрешению. Это один из наиболее совершенных атомно-силовых микроскопов бесконтактного типа с длительным сроком службы наконечника (зонда) и сканированием поверхности образца, не нарушающим его целостность, с консольными независимыми сканерами: латеральным XY и осевым Z, которые обеспечивают высокую точность и разрешение в непараллельных плоскостях измерения.

Отличная производительность
Оснащенный мощным вычислительным программным обеспечением SmartScan, АСМ Park NX10 позволяет получать данные гораздо быстрее и проще чем когда-либо. Автоматический режим позволяет получать изображения высочайшего качества всего с помощью нажатия трех кнопок, а для продвинутых и опытных пользователей доступен ручной режим работы со всеми возможными инструментами.

Результативность исследований

Располагая временем и данными, Вы можете сконцентрироваться на проведении инновационных исследований. Широкий диапазон режимов измерений Park NX10 и пользовательский интерфейс позволяют довольно легко настроить микроскоп для выполнения уникальных проектов.

Технология SICM – позволяет объединить атомно-силовую микроскопию со сканирующей ион-проводящей микроскопией на одном устройстве.

Преимущества АСМ

Широкий диапазон режимов сканирования и модульная конструкция микроскопа позволяют с легкостью адаптировать его под любые задачи сканирующей зондовой микроскопии.

Твердый образец – высота шага сканирования
1,5 мкм
Плоский образец – атомарный шаг полупроводниковой пластины сапфира
Режим сканирования: бесконтактный режим, топография датчика положения Z Высота шага сканирования 0,3 нм, режим сканирования: бесконтактный режим, топография датчика положения Z

Твердый образец – вольфрамовая пленка
1,5 мкм

Мягкий образец – коллаген фибрилла
Режим сканирования: бесконтактный режим, топография
датчика положения Z
Режим сканирования: бесконтактный режим, топография
датчика положения Z

Бесконтактный режим True Non-ContactТМ сохраняет четкость показаний зонда

Бесконтактный режим True Non-Contact это уникальный режим сканирования, использующийся в АСМ компании Park Systems, позволяющий получать изображения с высочайшим разрешением и точностью за счет предотвращения губительного взаимодействия «образец-кантилевер» во время сканирования.

В отличие от контактного режима измерений, в котором кантилевер постоянно находится в соприкосновении с поверхностью исследуемого образца, или полуконтактного метода, когда кантилевер соприкасается с поверхностью периодически, кантилевер, используемый в режиме True Non-Contact, не касается поверхности образца вообще. В виду этой особенности применение бесконтактного метода имеет ряд преимуществ. Доступно получение изображений с высочайшим разрешением в течение долгого периода времени, поскольку острота наконечника кантилевера сохраняется. Данный режим предотвращает повреждение поверхности мягких образцов. Отсутствуют непредвиденные частые расходы на приобретение новых кантилеверов.

Режим True Non-ContactTM Полуконтактное изображение
  • Ниже износ зонда = длительное сканирование высокого разрешения
  • Неразрушающий контакт зонд-образец = минимальное нарушение образца
  • Невосприимчивость к параметрам измерений (при получении результатов)
  • Быстрый износ зонда = размытое сканирование низкого качества
  • Разрушающее образец взаимодействие зонд-образец = нарушение и изменение поверхности образца
  • Высокая зависимость от параметров измерений

Простая замена наконечника (зонда) и образца

Уникальная конструкция головки обеспечивает простой боковой доступ для снятия и замены зонда и образца вручную. Кантилевер готов к выполнению сканирования без дополнительных сложных настроек лазерного пучка, так как имеет предварительно настроенный держатель зонда.

Быстрое автоматическое подведение зонда

Наш автоматический механизм подведения зонда к поверхности образца не требует вмешательства пользователя и занимает 10 секунд после загрузки кантилевера. Контролируя реакцию при движении кантилевера вдоль поверхности образца, Park NX10 способен максимально быстро подвести зонд (в течение 10 секунд загрузки кантилевера). Быстрая обратная связь высокоскоростного Z сканера и обработка сигнала с низким уровнем шума электронным контроллером NX обеспечивают необходимый контакт с поверхностью образца без вмешательства оператора. С АСМ можно работать, не прикладывая больших усилий.

Простая, интуитивно понятная настройка лазерного пучка

С помощью нашего современного, предварительно настроенного держателя кантилевера лазерный пучок имеет требуемую фокусировку. Кроме того, естественный осевой вид сверху, как уникальное решение в индустрии, позволяет быстрее заметить лазерную точку. Поскольку лазерный пучок падает вертикально вниз на кантилевер, можно интуитивно перемещать лазерную точку вдоль осей Х и Y поворотом двух кнопок. В результате этого, упрощается процедура поиска лазерной точки и ее легче расположить на PSPD с помощью интерфейса настройки пучка. Поэтому остается только отрегулировать величину сигнала на запуск режима получения данных.

Режимы работы

АСМ, выполненный по самой передовой технологии:

  • Двумерный консольный сканер с диапазоном сканирования 50 мкм × 50 мкм
  • Высокоскоростной Z сканер с 15 мкм диапазоном сканирования
  • Датчики положения низкого уровня шума XYZ
  • Моторизированный предметный столик XY
  • Автоматизация процесса поэтапного сканирования
  • Удобный держатель образца
  • Слот для дополнительных режимов и опций SPM
  • Мощная осевая оптика со встроенным осветителем и ПЗС камерой
  • Удобное крепление головки SLD по направляющей
  • Моторизированный Z столик и фокусный столик (автофокусирующая подача)
  • Высокоскоростная 24-битная цифровая электроника
  • Мощное программное обеспечение SmartScan для управления атомно-силовым микроскопом сочетает в себе универсальную гибкость, простоту использования и предоставляет непревзойденную производительность

Стандартное изображение

Химические свойства*

Температурные свойства*

Электрические свойства*

Оптические свойства*

Магнитные свойства*

Диэлектрические/пьезоэлектрические свойства*

* Опционально

Технологии Park AFM

Технические характеристики

Сканер Латеральный сканер XY Z сканер
Консольный одномодульный XY-сканер с замкнутым контуром управления
Сканирующий диапазон: 50 мкм × 50 мкм (дополнительно 10 мкм × 10 мкм, 100 мкм × 100 мкм) Разрешение: 0,05 нм
Шум детектора: < 0,25 нм (длительность импульса: 1 кГц)
Неплоскостность: < 2 нм (режим сканирования свыше 40 мкм)
Направляющий консольный силовой сканер
Сканирующий диапазон: 15мкм (дополнительно 30мкм)
Разрешение: 0,015 нм
Шум детектора: 0,03 нм (длительность импульса: 1кГц)
Резонансная частота: > 9кГц (стандартно 10,5кГц)
Топографический шум: <0,03нм (стандартно 0,02нм)
Обзор Линза объектива
Прямой осевой обзор поверхности образца и кантилевер
В сборе с линзой объектива 10× (линза с 20-кратным увеличением предлагается дополнительно)
Область обзора: 480 × 360 мкм (с 10-кратной линзой объектива)
ПЗС: 1 Мегапиксель (разрешение: 0,4 мкм)
10×(0,21NA) линза со сверхдлинной рабочей дистанцией (разрешение 1 мкм)
20×(0,42NA) линза с длинной рабочей дистанцией высокого разрешения (разрешение 0,6 мкм)
Программа NXP NXI
Контроль системы и программа получения данных.
Регулируемые параметры обратной связи в режиме реального времени.
Управление скриптами с помощью внешних программ (дополнительно).
Программа для анализа данных АСМ.
Электроника Обработка сигнала Встроенные функции
  ADC: 18 каналов
4 высокоскоростных ADC канала (64 MSPS)
24-битный ADC для датчика положения сканера X, Y и Z
DAC: 12 каналов
2 высокоскоростных DAC канала (64 MSPS)
20-битный DAC для позиционирования сканера X, Y и Z
Максимальный размер данных: 4096×4096 пикселей
3 канала гибкого цифрового фиксирующего усилителя
Постоянная калибровка пружины (температурный метод, дополнительно)
Цифровое Q-управление
Опции/Режимы Стандартное изображение Электрические свойства*
True Non-Contact AFM (реальный бесконтактный режим АСМ)
Basic Contact AFM (основной контактный режим АСМ)
Латеральная силовая микроскопия (LFM)
Фазовое изображение
Прерывистый (полуконтактный) режим АСМ
Режим проводимости АСМ
Спектроскопия I-V
Сканирующая микроскопия с зондом Кельвина (SKPM/KPM)
Сканирующая микроскопия (SKPM) высокого напряжения
Сканирующая емкостная микроскопия (SCM)
Сканирующая микроскопия сопротивления растекания (SSRM)
Сканирующая туннельная микроскопия (STM)
Сканирующая туннельная спектроскопия (STS)
Картографирование фототоком по времени (Tr-PCM)
Химические свойства* Температурные свойства*
  Химическая силовая микроскопия с функциональным зондом
Электрохимическая микроскопия (EC-STM и EC-AFM)
Сканирующая температурная микроскопия (SThM)
Оптические свойства* Магнитные свойства*
Рамановская спектроскопия (TERS)
Картографирование фототоком по времени (Tr-PCM)
Магнитная силовая микроскопия (MFM)
Регулируемая магнитная силовая микроскопия
Диэлектрические/пьезоэлектрические свойства* Механические свойства*
Электрическая силовая микроскопия (EFM)
Динамическая контактная EFM (DC-EFM)
Пьезоэлектрическая силовая микроскопия (PFM) с высоким напряжением
Силовая модулирующая микроскопия (FMM)
Наноидентификация
Нанолитография
Силовое измерение*
Силовая спектроскопия F-D
Объемное силовое изображение
Дополнительные принадлежности
Электрохимический элемент
Универсальный жидкостный элемент с температурным управлением
Предметные столики с температурным управлением
Генератор магнитного поля
Предметный столик
Размер образца: до 50 мм × 50 мм, толщина до 20 мм
Вес образца: до 500 г
Ход столика XY: 20 мм × 20 мм
Ход столика вдоль оси Z: 22 мм
Диапазон перемещения фокусировки: 15 мм
Крепление образца
  До 150 мм (в качестве опции 200мм)
Вакуумные прорези для удерживания подложек образцов
 
Доступ внешнего сигнала  
20 встроенных портов ввода/вывода
5 TTL выводов: EOF, EOL, EOP, модуляция и отклонение АС

* Опционально

Размеры в мм

Программное обеспечение Park SmartScan