Высоковакуумный атомно-силовой микроскоп для анализа отказов

Высоковакуумный атомно-силовой микроскоп для анализа отказов Park NX-Hivac

  • Анализ отказов, обнаружение дефектов
  • Сканирование в условиях высокого вакуума
  • Сканер XY: 50 × 50 мкм Z: 15 мкм
  • Высокая чувствительность и разрешение измерений

Производитель Park Systems

Особенности

Park NX-Hivac позволяет инженерам, работающим в области исследования анализа отказов, улучшить чувствительность и разрешение их измерений с помощью высоковакуумной сканирующей микроскопии сопротивления растекания (SSRM). Поскольку сканирование в условиях высокого вакуума обеспечивает лучшую точность, повторяемость и в наименьшей мере влияет на износ кантилевера и степень повреждения образца, чем в условиях окружающего атмосферного воздуха или при подаче сухого азота, пользователи могут измерять широкий спектр концентраций примесей и отклики в сферах анализа отказов.

Выполняя SSRM измерения в условиях высокого вакуума, можно уменьшить требуемую силу взаимодействия в системе «кантилевер - образец», что в значительной степени снижает механические повреждения как для первого, так и для второго компонентов системы. Таким образом, увеличивается срок службы каждого кантилевера, делая каждое сканирование более дешевым и более удобным, а также может предоставлять более точные результаты измерений за счет улучшения пространственного разрешения и отношения сигнал/шум. Эти особенности делают NX-Hivac вместе с режимом SSRM отличным выбором для применений в областях анализа отказов и обнаружения дефектов, увеличивая пропускную способность, снижая общую стоимость и улучшая точность.

Схема высоковакуумного атомно-силового микроскопа для анализа отказов

Схема атомно-силового микроскопа NX-Hivac

Park Hivac Manager

NX-Hivac auto vacuum контролирующее ПО

Высокий вакуум поддерживается с помощью Hivac Manager. Откачка до оптимального состояния и процесс вентилирования с легкостью контролируются нажатием всего одной кнопки. Каждый этап сопровождается цветовыми и схематическими изменениями, поэтому Вам не нужно будет беспокоиться о соответствии условий в вакууме после нажатия данной кнопки. Данное ПО обеспечивает простоту использования АСМ и его лучшую производительность.

NX-Hivac auto vacuum контролирующее ПО

Расширенные возможности

NX-Hivac имеет набор инструментов, которые минимизируют требуемое участие конечного пользователя. Это означает, что  Вы можете производить измерения с большей скоростью и улучшить пропускную способность.

StepScan автоматизация с моторизированным столиком

Данная функция дает возможность пользователю запрограммировать прибор таким образом, чтобы быстро и легко получать изображение сразу нескольких областей. NX-Hivac позволяет Вам производить измерение всего за пять шагов:

  • сканировать
  • отвести кантилевер
  • переместить предметный столик в нужное положение
  • подвести кантилевер
  • повторить сканирование

Данный алгоритм улучшает производительность и сокращает необходимое пользователю время подготовки для измерений до минимума.

StepScan

Моторизированное выравнивание лазера

Данная функция позволяет пользователю легко продолжить автоматизированные процедуры измерения без лишнего вмешательства. Благодаря нашему передовому преднастроенному держателю кантилевера лазерный луч фокусируется прямо на вновь устанавливаемый кантилевер. Лазерный луч затем юстируется по осям X и Y с помощью специальных ручек.

Моторизированное выравнивание лазера

Увеличение точности и производительности

NX-Hivac является не только самым точным и высокопроизводительным АСМ в мире, но также одним из самых простых и удобных в использовании при исследовании дефектов. С данным АСМ Вы сможете увеличить Вашу производительность и Ваши результаты будут одними из лучших.

XY и Z-сканеры с замкнутым контуром

С двумя независимыми гибкими XY и Z-сканерами с замкнутым контуром, Вы можете быть уверены, что Ваши результаты будут чрезвычайно точными. NX-Hivac обеспечивает плоскостное и вертикальное сканирование с низким остаточным изгибом, имея при этом отклонение от плоскости сканирования во всем диапазоне менее 1 нм. Также данный АСМ имеет диапазон сканирования 15 мкм вдоль оси Z с нелинейным смещением менее 0.5%. Данные особенности дают возможность получать точные 2D- и 3D-изображения без дальнейшей необходимости их компьютерной обработки.

XY и Z-сканеры

XYZ сенсоры с низким уровнем шума

NX-Hivac оснащен ведущим в своей области малошумящим Z-детектором, который может очень точно измерять рельеф образца, а XY-сканер с замкнутым контуром с низким уровнем шума минимизирует разрывы при сканировании в направлениях назад и вперед до 0.15% от диапазона сканирования.

24-битная цифровая электроника

24-битная цифровая электроника

Уменьшает потерю времени и увеличивает точность получаемых данных в NX-Hivac. Наши контроллеры являются 24-битными высокоскоростными устройствами, которые предоставляют пользователю возможность получать широкий спектр изображений, включая бесконтактный режим True Non-Contact. Данный контроллер, с низким уровнем шума и высокой скоростью обработки, является идеальным для точных измерений напряжения и тока, а также получения изображений в наномасштабах. Встроенная электроника также оснащена блоком цифровой обработки сигнала, что позволяет пользователю с легкостью анализировать проводимые измерения и получаемые изображения. 

Технические характеристики

Сканер Оптика
XY: 50 × 50 мкм (50 × 50 мкм - опция)
Z: 15 мкм
Объектив: 10Х
ПЗС: 5 мегапикселей
Предметный столик Габаритные размеры
Диапазон перемещений XY: 22 × 22 мм
Размеры образца: 50 × 50 мм, высота до 20 мм
Вакуумная камера (внутренняя): 300 × 420 × 320 мм
Вакуумная камера (внешняя): 800 × 950 × 730 мм
Программное обеспечение Электроника
SmartScan: ПО для Park АСМ
XEI: ПО для обработки данных
Hivac Manager: Auto vacuum контролирующее ПО
АЦП: 18 каналов; 4 высокоскоростных АЦП-канала (50 MSPS); 24-битный АЦП для X, Y, Z-сенсоров
ЦАП: 12 каналов; 2 высокоскоростных ЦАП-канала (50 MSPS); 20-битный ЦАП для X, Y, Z-сенсоров; 3 канала со встроенным усилителем
Система высокого вакуумирования
Вакуумирование: обычно менее 10-5 торр
Скорость откачивания: достижение уровня 10-5 торр менее, чем за 5 минут

 Высоковакуумный атомно-силовой микроскоп для анализа отказов