Высокоточный атомно-силовой микроскоп Park NX20 для анализа дефектов и исследования крупных образцов

  • Анализ дефектов полупроводников
  • Сканирующий диапазон: 100 мкм×100 мкм (50 мкм×50 мкм, 25 мкм×25 мкм)
  • Предметный столик с функцией наклона
  • Режим True Non-Contact (реальный бесконтактный режим АСМ)
  • Автоматизированный интерфейс
  • Z-детектор с низким уровнем шума

Производитель Park Systems

Особенности

Высокоточный атомно-силовой микроскоп Park NX20 – самый лучший инструмент в нанометрологии для анализа дефектов и исследования крупных образцов.

Идеальный выбор для анализа дефектов
Инженерам-исследователям, требуется получать надежные результаты и данные. Модель ParkNX20 имеет репутацию самого точного АСМ в мире для анализа крупных образцов, поэтому он получил широкое распространение в индустрии жестких дисков и полупроводников (статья "Исследование электрических свойств полупроводниковых устройств с помощью SCM и SKPM методов на атомно-силовом микроскопе").

Мощное решение для анализа дефектов
Данный АСМ оснащается компонентами уникальной конструкции, которые облегчают  использование микроскопа при поиске дефектов устройств и разработке креативных проектов. Непараллельная конструкция обеспечивает получение данных с высоким разрешением, которые позволяют Вам уделить основное внимание решению исследовательских задач. Режим True Non-ContactТМ делает работу зонда более четкой и продолжительной, это экономит Ваши время и деньги на  обслуживание.

Прост в работе даже для молодого специалиста
Park NX20 имеет самый удобный дизайн и автоматизированный интерфейс в индустрии, поэтому не потребуется тратить много времени и сил при работе с микроскопом и для обучения молодых специалистов. Это позволяет больше времени уделить исследовательской работе и решению сложных задач и обеспечивает своевременный и качественный анализ дефектов.

Режимы работы

Предметный столик с функцией наклона для получения подробных изображений боковин (боковых стенок)
Инновационная конструкция NX20 позволяет рассмотреть боковину и поверхность образца, измерить угол наклона профилей. АСМ становится еще более универсальным инструментом для проведения исследовательских работ и глубокого изучение внутренних деталей образца.

  • Угол наклона: 10,15 и 20 град.
  • Размер образца: 20×20 мм
  • Толщина образца: 2 мм

Режимы работы
С широким диапазоном режимов сканирования и модульной конструкцией ParkNX20 располагает мощностью и гибкостью, которые требуются для реализации любого Вашего проекта

Стандартное изображение

Электрические свойства*

Общие свойства*

* Опционально

Лидирующий в отрасли малошумный Z-детектор

Наши атомно-силовые микроскопы оснащены самыми эффективными в отрасли Z-детекторами с низким уровнем шума. Уровень шума не превышает 0,02 нм в широком диапазоне частот. Это позволяет выполнять топографическое измерение образца с высокой точностью, без смещения краев и калибровки. Поэтому Park NX20 экономит время и выдает отличные данные.

Точное топографическое изображение образца, полученное с помощью Z-детектора с низким уровнем шума

Точное топографическое изображение образца

Отсутствие артефактов в результате сканирования АСМ на топографическом изображении с низким уровнем шума и обратной связью

Отсутствие артефактов в результате сканирования АСМ

  • Используется сигнал Z-детектора низкого уровня шума для получения топографического изображения
  • Низкий уровень шума Z-детектора 0,02 нм в широком диапазоне частот
  • Отсутствие смещения краев (начальных и замыкающих)
  • Выполняется только одна калибровка на заводе

Режим True Non-Contact сохраняет четкость показаний зонда

Наконечники (зонды) атомно-силовых микроскопов настолько хрупкие, что при их контакте с образцом происходит мгновенное снижение разрешения и качества изображения. При работе с мягкими и тонкими образцами зонд может повредить образец, это приведет к неточности измерений высоты профиля, повлечет рост затрат времени и денег. Уникальный режим True Non-ContactТМ АСМ существенно увеличивает разрешение и точность полученных данных при сохранении целостности самого образца.

Точная обратная связь за счет скоростного сервопривода оси Z в режиме True Non-Contact

Режим True Non-ContactTM Полуконтактное изображение



  • Ниже износ зонда = длительное сканирование высокого разрешения
  • Неразрушающий контакт зонд-образец = минимальное нарушение образца
  • Невосприимчивость к параметрам измерений (при получении результатов)
  • Быстрый износ зонда = размытое сканирование низкого качества
  • Разрушающее образец взаимодействие зонд-образец = нарушение и изменение поверхности образца
  • Высокая зависимость от параметров измерений

Инновационный дизайн для решения самых современных задач

Точные атомно-силовые микроскопы для FA и исследовательских лабораторий

  • Измерение шероховатости поверхности для сред и подложек
  • Анализ и получение обзорных изображений дефектов
  • Режим электронного сканирования высокого разрешения
  • Измерение боковых стенок при изучении трехмерных структур

Точные,  воспроизводимые измерения для повышения производительности измерений

  • Бесконтактный режим для сохранения четкости зонда и обеспечения точности измерения шероховатости поверхности
  • Быстрое получение изображений дефектов в бесконтактном режиме
  • Система раздельного сканирования XY для измерения трехмерных структур
  • Минимальный сдвиг и гистерезис с использованием компонентов, имеющих аналогичные температурные характеристики

Точная топография АСМ с применением малошумного Z-детектора

  • Топографические измерения производятся самым современным промышленным Z-детектором с низким уровнем шума
  • Технология True Sample TopographyTM без смещения краев или ошибок, вызванных изменением характеристик пьезоэлемента
  • Точная регистрация высоты поверхности даже в процессе высокоскоростного сканирования
  • Компактный латеральный сканер XY с синусоидальным алгоритмом сканирования при перемещении вперед
  • Самый лучший критерий в отрасли - шаг сканирования при перемещении зонда вперед и назад не превышает 0,15%

Экономия затрат при работе в режиме True Non-ContactТМ

  • Увеличенный более чем в 10 раз срок службы зонда при эксплуатации и отображении дефектов
  • Минимальный износ зонда, гарантия получения высококачественного изображения с высоким разрешением в течение длительного периода времени
  • Минимальное нарушение или изменение поверхности образца
.

Технологии Park AFM

Технические характеристики

Сканер Латеральный сканер XY Z сканер
Консольный одномодульный XY-сканер с замкнутым контуром управления
Сканирующий диапазон: 100 мкм×100 мкм (50 мкм×50 мкм, 25 мкм×25 мкм)
20-битный контроль положения и 24-битный датчик положения
Направляющий консольный силовой сканер
Сканирующий диапазон: 15 мкм (30 мкм)
20-битный контроль положения и 24-битный датчик положения
Обзор Линза объектива
Прямой осевой обзор поверхности образца и кантилевер
В сборе с линзой объектива 10× (линза с 20-кратным увеличением предлагается дополнительно)
Область обзора: 480×360мкм
ПЗС: 1 Мегапиксель
10×(0,21NA) линза со сверхдлинной рабочей дистанцией
20×(0,42NA) линза с длинной рабочей дистанцией высокого разрешения
Программа NXP NXI
Контроль системы и программа получения данных
Регулируемые параметры обратной связи в режиме реального времени
Управление скриптами с помощью внешних программ (дополнительно)
Программа для анализа данных АСМ
Электроника Обработка сигнала Встроенные функции
  ADC: 18 каналов
4 высокоскоростных ADC канала (64 MSPS)
24-битный ADC для датчика положения сканера X, Y и Z
DAC: 12 каналов
2 высокоскоростных DAC канала (64 MSPS)
20-битный DAC для позиционирования сканера X, Y и Z
Максимальный размер данных: 4096×4096 пикселей
3 канала гибкого цифрового фиксирующего усилителя
Постоянная калибровка пружины (температурный метод)
Цифровое Q-управление
Опции/Режимы Стандартное изображение Электрические свойства*
True Non-Contact AFM (реальный бесконтактный режим АСМ)
Basic Contact AFM (основной контактный режим АСМ)
Латеральная силовая микроскопия (LFM)
Фазовое изображение
Прерывистый (полуконтактный) режим АСМ
PinPoint AFM
Режим проводимости АСМ
Электрическая силовая микроскопия (EFM)
Пьезоэлектрическая силовая микроскопия (PFM)
Сканирующая микроскопия с зондом Кельвина (SKPM)
Сканирующая емкостная микроскопия (SCM)
Общие свойства*
  Магнитная силовая микроскопия (MFM)
Сканирующая температурная микроскопия (SThM)
Силовая спектроскопия F-D
Сканирующая туннельная микроскопия (STM)
Силовая модулирующая микроскопия (FMM)
Наноидентификация
Нанолитография
Наноманипуляция
Дополнительные принадлежности
Пластины для образцов
Акустическая камера с температурным контролем
Ручной пробник для жидкостей
Жидкостные элементы
Столики с температурным контролем
Внешний модуль с функцией наклона
Модуль доступа сигнала
Предметный столик
Диапазон перемещения XY: 150 мм (200 мм в качестве опции)
Диапазон перемещения Z: 25 мм
Диапазон перемещения фокусировки: 15 мм
Точное кодирующее устройство для всех осей (в качестве опции)
 
Крепление образца
  До 150 мм (в качестве опции 200 мм)
Вакуумные прорези для удерживания подложек образцов
 
Доступ внешнего сигнала  
20 встроенных портов ввода/вывода
5 TTL выводов: EOF, EOL, EOP, модуляция и смещение АС
 

* Опционально

Программное обеспечение Park SmartScan