Измеритель оптической толщины серии 157

Измеритель оптической толщины серии 157 основан на использовании технологии интерферометра и предназначен для измерения толщины различных материалов. Приборы данной серии могут измерять абсолютную толщину с точностью ± 0.1 мкм и воспроизводимостью ± 0.02 мкм.

Производитель Bristol instruments

Отличительные особенности

Измеритель оптической толщины серии 157 основан на использовании технологии интерферометра и предназначен для измерения толщины различных материалов. Приборы данной серии могут измерять абсолютную толщину с точностью ± 0.1 мкм и воспроизводимостью ± 0.02 мкм. 

  • Неразрушающий метод измерения – отсутствие повреждений или деформаций на образце
  • Одновременное измерение всех слоев: измерение каждого слоя в отдельности и общей толщины
  • Простота использования, совмещенная с высокой производительностью: встроенный процессор позволяет не загружать Ваш собственный ПК
  • Прочная конструкция – использование прямо на производстве
  • Точность измерения толщины ± 0.1 мкм при достоверности результатов более 99.7%
  • Воспроизводимость результатов измерения ± 0.02 мкм: идеальное решение для обнаружения изменений толщины вплоть до 0.04 мкм
  • Непрерывная калибровка по встроенному эталону длины: отсутствие необходимости калибровки с помощью дополнительных устройств
  • Технология использования интерферометра: отсутствие влияние оптических эффектов (поляризация, дисперсия и т.д.) на результаты измерения

Бесконтактное измерение

Измеритель оптической толщины серии 157 вобрал в себя все преимущества измерений на основе физических свойств света, что позволяет производить точные измерения большого количества прозрачных и полупрозрачных материалов без их деформации или повреждения. В большинстве случаев измерения могут производиться прямо на линиях производства исследуемых образцов, что позволяет оставлять материалы в условиях, наиболее благоприятных для их хранения.

Измерители данной серии имеют дизайн, выполненный на основе построения интерферометра, что позволяет исключать различные нежелательные оптические эффекты и получать высокоточные данные.

В состав данных приборов входит сверхяркий диод (SLED), блок интерферометра и цифровой преобразователь. Все элементы находятся внутри одного корпуса. Волоконный зонд, оптоволокно и программное обеспечение Opti-Cal также входят в комплект к данным приборам.

Принцип работы

Излучение от SLED переносится на исследуемый образец с помощью волокна и волоконного зонда. Часть излучения, падающего на образец, отражается обратно на волоконный зонд. По факту, обратное отражение присутствует у каждого слоя образца: например, при исследовании обычного стекла будет регистрироваться два отражения – одно от первой (верхней) поверхности, другое от второй (нижней) поверхности; при исследовании двухслойной пленки будет регистрироваться три отражения – два из них будут от первой и последней поверхности, а третье отражение будет от внутренней границы двух пленок. Т.е. приборы серии 157 регистрируют отраженное излучение от каждой границы раздела сред (с различными показателями преломления). При измерении контактных линз измеритель оптической толщины серии 157 может одновременно измерять центральную толщину линзы и ее сагиттальную высоту. При измерении трубки, прибор одновременно измеряет толщину верхней и нижней стенок, наружный и внутренний диаметр.

Волоконный зонд собирает отраженное излучение и переносит его на интерферометр для анализа. Интерферометр используется для определения расстояний, которые были пройдены перед каждым отражением. Разница между этими расстояниями и отображает толщину каждого слоя исследуемого материала. Эти вычисления проводятся с помощью встроенного в прибор процессора, а затем отображаются на мониторе ПК с помощью Opti-Cal программного обеспечения.

Высочайшая точность

Измеритель оптической толщины серии 157 корректирует потенциальные ошибки измерения за счет сравнения каждого измерения с эталонным стандартом длины. Данный эталон представляет собой He-Ne лазер, чья длина волны хорошо известна, всегда остается неизменной и определяется с точностью ± 0.1 пм. Данная технология гарантирует высочайшую точность и производительность на протяжении многих лет и избавляет Вас от необходимости дополнительных калибровок с помощью стороннего оборудования.

Простота использования и производительность

Данные приборы работают совместно с компьютерами, имеющими программное обеспечение Windows 7 или 8. Встроенный в прибор процессор производит всю обработку информации, а затем передает ее на компьютер через USB или Ethernet интерфейс. Таким образом, оперативная память Вашего ПК не загружена, что позволяет параллельно использовать ПК и в других целях. Программное обеспечение Opti-Cal, поставляемое совместно с прибором, используется для контроля параметров измерений, отображения оптического сигнала для настройки и создания отчетов в различных форматах. Данное ПО может отображать информацию в виде таблицы с данными о 15 различных слоев: толщина каждого слоя, общая толщина образца, стандартное отклонение при измерении, положение пиков поверхности и амплитуда пиков. Каждое измерение может отображаться отдельно или может использоваться усреднение для автоматического расчета. Данные можно собрать и сохранить в отдельный файл. Также возможен анализ изменений толщины во время измерений, что может быть особенно важно для контроля прямо во время процесса производства: предоставляется в графическом виде.

Интеграция

Измеритель оптической толщины серии 157 является идеальным инструментом как для лабораторных исследований, так и для применения на производстве благодаря большому количеству возможных вариантов его использования. Данный прибор может подключаться напрямую к ПК через USB или Ethernet интерфейс, либо Ethernet интерфейс может использоваться для подключения прибора в сеть. К прибору может подключаться до 8 клиентских ПК. Еще большие возможности использования достигаются за счет того, что для работы с данным прибором не требуется отдельный компьютер. Все данные обрабатываются внутри прибора, поэтому их анализ может производиться с помощью драйверов LabView, .NET или пользовательских программ.

Области применения

Технические характеристики

Модель 157-1 157-8
Измерение толщины
Метод Бесконтактная оптическая интерферометрия
Рабочий диапазон1 35 мкм – 10,5 мм
Точность2 ± 0.1 мкм
Воспроизводимость3,4 ± 0.05 мкм (без усреднения)
Контроль Утверждено в соответствии со стандартами NIST
Разрешение экрана 0.01 мкм
Единицы измерения мм, мкм, тысячная дюйма (0.0254 мм)
Волоконный зонд
Рабочее расстояние 50 мм
Допустимая угловая погрешность
Скорость измерения 20 Гц
Соединение с ПК USB 2.0 или Ethernet
Требования к ПК5 Windows 7 или 8, наличие USB или Ethernet порта, монитора и мыши, 1 Гб ОЗУ, частота 1 ГГц
Оптический коммутатор
Тип коммутатора 1 × 8, встроенный
Время переключения6 1 мс
Эксплуатационные характеристики
Рабочая температура 15 – 30 ˚С
Температура хранения -10 – 70 ˚С
Рабочее давление 500 – 900 мм. рт. ст.
Влажность ≤ 90% при 40˚С (не конденсированный воздух)
Технические данные
Габаритные размеры прибора 89 × 432 × 381 мм
Вес прибора 7.65 кг
Размеры волоконного зонда Диаметр: 30.5 мм, длина: 124 мм
Вес зонда 0.086 – 0.12 кг
Напряжение питания 90 – 264 В перем. тока, 47 – 63 Гц, 80 ВА макс.

1 Физическая толщина для образцов с предполагаемым показателем преломления 1.5. Физическая толщина вычисляется как отношение оптической толщины к показателю преломления

2 Погрешность на весь рабочий диапазон при соблюдении эксплуатационных характеристик

3 Стандартное отклонение за 60 минут

4 Зависит от отражательной способности материала при длине волны 1.3 мкм. Параметр указан при коэффициенте отражения 4%. Когда отражение меньше, воспроизводимость ухудшается (в худшем случае ± 150 мкм)

5 Параметры ПК, требуемые для первоначальной настройки волоконного зонда и использования Opti-Cal ПО. Не требуется для проведения измерений

6 Время переключения не влияет на скорость измерения всей системы

Похожее оборудованиеВ каталог
  • Для исследования характеристик всех типов материалов: диэлектриков, полупроводников, органики и многих других
  • Измеряемые константы: толщина пленки, n, k через λ
  • Производительность 10~15 с на точку(зависит от типа пленки)
  • Для надежного, быстрого и точного измерения толщин пленок
  • Измеряет толщину пленки, n, k через λ, отражательную способность
  • Производительность: 0.5 с на точку
  • Повторяемость ± 1Å при измерении 10 раз
  • Cтандарт для измерения толщин тонких пленок и оптических констант с очень небольшим размером пятна
  • Производительность: < 0.5 с на точку (зависит от типа пленки)
  • Повторяемость: ±1 Å за 10 измерений
  • Уникальная сотовая структура внутренней панели
  • Возможность кастомизации
  • Относительное смещение: макс. 1.2 × 10-3 мм
  • Деформация на изгиб при нагрузке: макс. 7.5 × 10-8 мм
  • Динамический коэффициент при деформации на изгиб: макс. 0.3 × 10-3
  • Нанесение тонких пленок на стекле, металле, полупроводниках и других твердых материалах.
  • Скорость вращения 100 – 10000 об/мин.
  • Ускорение 40 - 5000 об/мин/сек
  • Камера 8" - 10'" (в зависимости от модели).
  • Вакуумный держатель подложек.
  • Возможность продувки рабочей камеры инертным газом.
  • Опции управления с ПК, обогрев, УФ осушители.