Атомно-силовые микроскопы (Atomic force microscopes) Park Systems
Атомно-силовые микроскопы (AFM) компании Park Systems (Южная Корея).Высокоточный атомно-силовой микроскоп Park NX20 для анализа дефектов и исследования крупных образцов
- Анализ дефектов полупроводников
- Сканирующий диапазон: 100 мкм×100 мкм (50 мкм×50 мкм, 25 мкм×25 мкм)
- Бесконтактный режим True Non-Contact
- Z-детектор с низким уровнем шума
- Автоматизированный интерфейс
- Самый оснащенный и универсальный АСМ
- Сканирующий диапазон: 50 мкм × 50 мкм (10 мкм × 10 мкм, 100 мкм × 100 мкм)
- Бесконтактный режим True Non-Contact
- Длительный срок службы зонда, высочайшее разрешение
- Точное латеральное сканирование XY в режиме «Crosstalk Elimination» (устранение помех)
- Точная топография АСМ с применением малошумного Z-детектора
- Функция устранения перекрестных помех
- Лучшая в отрасли скорость и линейность Z-сервопривода
- Плоское ортогональное сканирование по XY без изгиба сканера
- Автоматическое считывание кантилеверов
- Автоматическая смена кантилеверов
- Автоматическая настройка лазера
- Бесконтактный режим анализа True Non-Contact
- Двумерный консольный сканер с диапазоном сканирования 100 мкм × 100 мкм
- Консольный Z-сканер высокого усилия
- Удобное крепление головки SLD по направляющей
- Множественный зажим
- Моторизированный предметный столик XY
- Двумерный консольный сканер с диапазоном сканирования 10 мкм × 10 мкм
- Консольный Z-сканер высокого усилия
- Удобное крепление головки SLD по направляющей
- Удобный держатель образца
- Предметный столик XY с ручным управлением
- Анализ отказов, обнаружение дефектов
- Сканирование в условиях высокого вакуума
- Сканер XY: 50 × 50 мкм Z: 15 мкм
- Высокая чувствительность и разрешение измерений
- Измерение электрических, магнитных, температурных и механических свойств в нанометровом масштабе
- Метод сканирования на основе микропипеток
- Диапазон сканирования в плоскости XY: 100 × 100 мкм
- Доступно сканирование АСМ головкой или SICM модулем
- Различные режимы измерения: бесконтактный режим, полуконтактный режим, PinPoint режим и т.д.
Промышленные микроскопы
- Идентификация нанодефектов
- Высокая производительность
- Измерение шероховатости поверхности в доли ангстрем
- Автоматический обзор дефектов
- Точная обратная связь
- Автоматическое сканирование и идентификация дефектов
- Автоматическое позиционирование, не требующее предварительной калибровки
- Специально для применения в области полупроводников
- Производительность всей системы до 1000%
- Для точной метрологии ползунков для жестких дисков прямо на производстве
- Автоматизация для быстрых, точных и повторяющихся PTR измерений
- Высокая пропускная способность без необходимости в контрольных измерениях
- Малошумные датчики положения XYZ
- Полностью автоматический АСМ
- Измерение выступающих элементов профилей, получение изображений боковых стенок с высоким разрешением, измерение критических углов
- Неразрушающее измерение мягких поверхностей фоторезисторов
- Система раздельного сканирования в латеральной плоскости XY и по оси Z и поворотным Z-сканером
- Полностью автоматизированный АСМ
- Разработан для контроля качества в лабораториях
- Позволяет полностью исследовать всю поверхность подложки
- Подложки диаметром до 300 мм
- Без необходимости перемещения подложки во время сканирования
Компания Park Systems производит передовые решения в области атомно-силовой микроскопии, начиная от простых систем вплоть до сложных исследовательских комплексов и систем АСМ микроскопии для промышленных и научных применений.
Представленные зондовые микроскопы являются высокоточными системами для исследования не только поверхности образца, но и целого спектра свойств материала: механических, магнитных, электрических.
Новейшее программное обеспечение SmartScan™ делает процесс работы на атомно-силовом микроскопе простым и понятным, за счёт наличия алгоритмов автоматизации процесса сканирования.