Park Systems

Южная Кореяhttps://www.parksystems.com/

Park Systems

Компания Park Systems с самого начала своего существования стремится каждый день жить в соответствии с новаторским духом. На протяжении всего этого времени компания поставляет наиболее точные и очень простые в использовании АСМ микроскопы с революционными характеристиками, такими как Реальный Безконтактный Режим (True Non-Contact™), и максимально автоматизированным программным обеспечением. Park Systems не останавливается на достигнутом успехе, и все её продукты разработаны с такой же пунктуальностью и креативностью как и первые.

После четверти века непрерывного роста и инновационной продукции компания обладает самой длинной историей АСМ бизнеса в отрасли. Park Systems имеет сеть дистрибьюторов по всему миру в более чем 30 странах мира и имеет более чем 1000 АСМ микроскопов в использовании по всему миру. Компания является самой быстрорастущей в отрасли и имеет более 120 штатных сотрудников, которые посвящают себя производству наиболее точных и простых в использовании АСМ микроскопов.

Видео о компании

История компании

Самая длинная история технологий.

Более чем четверть века назад компания «Park Systems» была основана в Стэндфордском университете, в котором ее основатель доктор Sang-Il Park работал в группе первых исследователей технологий АСМ. После усовершенствования микроскопа он участвовал в создании первого коммерческого АСМ и затем основал компанию «Park Systems».

1985

Открытие технологии АСМ микроскопа (Университет Стэнфорда).

1989

Первый в мире коммерческий АСМ микроскоп.

2002

Точное латеральное сканирование XY в режиме «Crosstalk Elimination» (устранение помех).

2004

Реальный безконтактный режим (Non-Contact Mode™) для неразрушающего сканирования поверхности образца.

2008

Новый 3D атомно-силовой микроскоп XE-3DM для 3D метрологии высокого разрешения.

2009

Новый атомно силовой микроскоп XE-Bio для получения изображения живых клеток с мопошью сканирующей ион-проводящей микроскопии (Scanning Ion Conductance Microscopy).

2011

Флагманский микроскоп в новой линейке продуктов Park NX10 с технологией True Sample Topography™.

2012

Самый прецизионный в мире микроскоп Park NX20.

2013

Park NX-HDM - полностью автоматический обзор дефектов и измерение шероховатости поверхности в доли ангстрем для сред и подложек.

Продукты компании
  • Анализ дефектов полупроводников
  • Сканирующий диапазон: 100 мкм×100 мкм (50 мкм×50 мкм, 25 мкм×25 мкм)
  • Бесконтактный режим True Non-Contact
  • Z-детектор с низким уровнем шума
  • Автоматизированный интерфейс
  • Самый оснащенный и универсальный АСМ
  • Сканирующий диапазон: 50 мкм × 50 мкм (10 мкм × 10 мкм, 100 мкм × 100 мкм)
  • Бесконтактный режим True Non-Contact
  • Длительный срок службы зонда, высочайшее разрешение
  • Точное латеральное сканирование XY в режиме «Crosstalk Elimination» (устранение помех)
  • Точная топография АСМ с применением малошумного Z-детектора
  • Функция устранения перекрестных помех
  • Лучшая в отрасли скорость и линейность Z-сервопривода
  • Плоское ортогональное сканирование по XY без изгиба сканера
  • Автоматическое считывание кантилеверов
  • Автоматическая смена кантилеверов
  • Автоматическая настройка лазера
  • Бесконтактный режим анализа True Non-Contact
  • Двумерный консольный сканер с диапазоном сканирования 100 мкм × 100 мкм
  • Консольный Z-сканер высокого усилия
  • Удобное крепление головки SLD по направляющей
  • Множественный зажим
  • Моторизированный предметный столик XY
  • Двумерный консольный сканер с диапазоном сканирования 10 мкм × 10 мкм
  • Консольный Z-сканер высокого усилия
  • Удобное крепление головки SLD по направляющей
  • Удобный держатель образца
  • Предметный столик XY с ручным управлением
  • Анализ отказов, обнаружение дефектов
  • Сканирование в условиях высокого вакуума
  • Сканер XY: 50 × 50 мкм Z: 15 мкм
  • Высокая чувствительность и разрешение измерений