Измерение толщины тонких пленок с помощью спектрометра Exemplar

ИЮН152015

Модульные спектрометры УФ, видимого и ИК диапазонов спектра на протяжении многих лет использовались для измерения тонких пленок на поверхности. Например, измеряя отражение/пропускание на поверхности кремниевой пластины, мы можем рассчитать конструктивную и деструктивную интерференцию и вычислить толщину пленки вплоть до нескольких ангстрем (до нескольких слоев). Современные CCD спектрометры являются идеальным инструментом в данной области благодаря их высокой скорости сканирования и широкому диапазону применений в различных сферах за счет использования оптоволокна для взятия проб.

ПЗС-спектрометры серии Exemplar отличаются такими характерными особенностями, которые позволяют производить измерение толщины тонких пленок быстро, легко и с высокой точностью. Они позволяют Вам осуществлять запуск с ультракороткой задержкой в 35 нс со значением джиттера ± 5 нс, а также обладают временем интегрирования всего в 1 мс. Для ОЕМ применений, миниспектрометры Exemplar отличаются своей быстротой, повторяемостью и предоставляют возможность разработки программного обеспечения под Ваши нужды.

Ключевые преимущества спектрометров серии Exemplar:

• Ультракороткая задержка в 35 нс со значением джиттера ± 5 нс
• Очень короткое время интегрирования (1 мс; BRC115P)
• USB0 интерфейс для более высокой скорости передачи данных
• Встроенный процессор для обработки результатов прямо на приборе
• Возможность синхронизации с несколькими устройствами (до 32) без дополнительных программ
• Пакет ПО, позволяющий производить разработку приложений для конкретных применений (Set Development Kit)

Набор для спектрометров серии Exemplar для контроля тонких пленок

Для того чтобы производить высококачественные измерения всего за несколько секунд, Вам потребуется:

• ПЗС спектрометр серии Exemplar УФ, видимого или ИК диапазона(BRC115P или BTC655N)
• Вольфрамовый дейтериевый (BDS100) / галогенный источник света (BPS101)
• Волоконный зонд на отражение или раздвоенное волокно для взятия пробы (FRP/BRS)
• Держатель волоконного зонда на отражение (FRPH)
• Пакет ПО, позволяющий производить разработку приложений для конкретных применений (SDK-S)

Подробные характеристики ПЗС спектрометра серии Exemplar