Анализ кремниевых подложек диаметром 300 мм на наличие дефектов после травления с помощью технологии ADR АСМ компании Park Systems
Подложки из монокристаллического кремния являются важным элементом в полупроводниковой промышленности. При изготовлении подложек методом Чохральского получаются высококачественные монокристаллические структуры с определенными дефектами, которые формируются в процессе роста кристалла или при дальнейшей обработке.
Читать далее
